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PRODUCTS CNTER基恩士顯微鏡:微型光學元件的質檢保障在微型光學元件制造領域,如手機攝像頭鏡片、AR/VR 設備光學模組、微型傳感器透鏡等,元件的表面面型精度、透光性及微觀缺陷直接決定光學性能。哪怕是納米級的面型誤差或微米級的表面劃痕,都可能導致光線折射異常、成像模糊,影響終端產品體驗?;魇?VK-X3000 激光共聚焦顯微鏡憑借多模式測量優(yōu)勢、高分辨率成像能力與針對性的光學檢測功能,成為微型光學元件制造全流程
基恩士顯微鏡:微型光學元件的質檢保障
納米級面型精度測量:微型光學元件的面型精度直接影響光線成像質量,VK-X3000 在激光共聚焦模式下,20X 物鏡高度重復性精度 σ 為 40nm,寬度重復性精度 3σ 為 100nm,可精準測量微型鏡片的曲率半徑、平面度誤差。例如檢測手機攝像頭的微型凸透鏡時,能測量鏡片的面型誤差(精度可達 λ/20,λ 為測試波長),確保光線經過鏡片后能精準聚焦,避免成像畸變;檢測光學棱鏡時,可測量棱鏡的角度偏差(精度 ±1 角秒),保障光線折射路徑符合設計要求。
微觀缺陷精準識別:微型光學元件表面的細微劃痕、凹陷或內部氣泡,會導致光線散射、透光率下降。VK-X3000 的 16BIT 光電倍增器可捕捉 65536 灰度級的細節(jié)差異,能識別表面深度僅 20nm 的細微劃痕;配合白光干涉模式,可檢測透明元件內部直徑僅 1μm 的微小氣泡。例如檢測 AR 眼鏡的光波導鏡片時,能精準定位內部氣泡位置與大小,避免因氣泡導致的視覺光斑;檢測微型傳感器的保護鏡片時,可發(fā)現(xiàn)表面細微劃痕,確保傳感器透光率符合性能標準。
透光率與均勻性分析:透光率是微型光學元件的核心性能指標之一,VK-X3000 通過面陣探測器彩色 CMOS 與專用光學分析算法,可量化分析元件的透光均勻性。例如檢測 LED 背光模組的導光板時,能測量不同區(qū)域的透光率差異(精度 ±1%),判斷導光板的網點分布是否均勻;檢測光學濾光片時,可分析濾光片對特定波長光線的透過率,確保濾光效果符合設計要求,避免雜光干擾。
微型鏡片質檢:檢測手機攝像頭、微型投影儀中的凸透鏡、凹透鏡的面型精度(曲率半徑、平面度)、邊緣倒角尺寸與表面粗糙度;識別鏡片表面的劃痕、凹陷、麻點等缺陷;測量鏡片厚度均勻性,確保同一批次鏡片性能一致性。
光學模組檢測:檢測 AR/VR 設備光波導鏡片的內部氣泡、分層缺陷與透光均勻性;測量光學模組中鏡片與鏡片的間距、同軸度,確保模組組裝精度;檢測模組表面鍍膜的厚度與均勻性,評估鍍膜對光學性能的影響。
光學傳感器元件檢測:檢測微型圖像傳感器、距離傳感器的保護鏡片透光率與表面缺陷;測量傳感器光學鏡頭的焦距偏差與成像清晰度;檢測光學編碼器的光柵尺刻線精度(線寬、間距),確保編碼器信號輸出準確性。
樣品準備:在光學潔凈工作臺上,用無塵布蘸取光學專用清潔劑輕輕擦拭凸透鏡表面,去除灰塵與指紋;將凸透鏡放置在載物臺的光學專用夾具上,通過夾具的微調旋鈕固定鏡片,確保鏡片中心與物鏡中心對齊,避免檢測時出現(xiàn)偏心誤差。
設備調試與參數(shù)設置:打開 VK-X3000,選擇 “激光共聚焦模式",搭載 50X 物鏡(NA≥0.8,WD0.54mm);設置掃描范圍為鏡片有效光學區(qū)域(約 3mm×3mm),掃描分辨率為 2048×2048 像素(保證面型細節(jié)精度),掃描速度設為 50Hz(平衡精度與效率);開啟 “面型分析" 專用算法,預設面型誤差、曲率半徑的測量參數(shù)。
對焦與掃描:通過 Z 軸電動微調,配合軟件的 “自動對焦" 功能,找到鏡片表面的清晰聚焦面;啟動掃描程序,設備自動采集鏡片表面的三維輪廓數(shù)據(jù),生成面型三維圖像;掃描過程中,軟件實時顯示面型誤差曲線,便于初步判斷鏡片面型是否符合要求。
數(shù)據(jù)分析與判定:掃描完成后,軟件自動計算鏡片的曲率半徑、平面度誤差(如 PV 值、RMS 值)與表面粗糙度(Ra、Rq);對比設計標準(如曲率半徑偏差允許 ±0.01mm,平面度誤差允許≤0.5μm),判定鏡片面型精度是否合格;通過 “缺陷標記" 工具,標注表面劃痕、凹陷等缺陷的位置與尺寸,統(tǒng)計缺陷數(shù)量。
數(shù)據(jù)歸檔與反饋:將檢測報告導出為 PDF 格式,包含面型三維圖像、曲率半徑數(shù)據(jù)、面型誤差曲線與缺陷統(tǒng)計;將報告上傳至光學元件生產管理系統(tǒng),用于產品質量追溯;若面型精度不合格,分析誤差原因(如模具磨損、加工參數(shù)偏差),反饋至生產車間調整工藝。
項目 | 微型光學元件質檢關鍵參數(shù) |
面型測量精度 | 激光共聚焦模式 20X 物鏡:高度 σ40nm,寬度 3σ100nm(曲率半徑偏差 ±0.01mm) |
缺陷檢測能力 | 表面劃痕識別精度 20nm,內部氣泡識別精度 1μm(透明元件) |
物鏡適配性 | 50X(NA≥0.8,面型精度檢測);150X APO(NA≥0.95,微觀缺陷檢測);20X 干涉物鏡(內部缺陷檢測) |
透光率分析精度 | ±1%(均勻性分析),支持特定波長透光率測量 |
載物臺特性 | 光學級玻璃臺面,微米級定位精度(元件精準對準) |
數(shù)據(jù)輸出格式 | PDF/CSV/TIF(含面型曲線、缺陷標注,適配光學檢測報告需求) |
基恩士顯微鏡:微型光學元件的質檢保障
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