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三維光學(xué)輪廓儀
Sensofar
S neoxSensofar三維共聚焦白光干涉儀
Sensofar三維共聚焦白光干涉儀Sensofar白光干涉儀采用非接觸式光學(xué)測(cè)量技術(shù),適用于微納米級(jí)表面形貌分析,可滿(mǎn)足半導(dǎo)體、精密制造、材料科學(xué)等領(lǐng)域的高精度檢測(cè)需求。
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Sensofar三維共聚焦白光干涉儀
Sensofar三維共聚焦白光干涉儀是一款集成了共聚焦、白光干涉和多焦面疊加技術(shù)的高精度光學(xué)輪廓測(cè)量設(shè)備,廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)和質(zhì)量控制領(lǐng)域。該設(shè)備采用非接觸式測(cè)量方式,能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)表面形貌的高精度測(cè)量。
在性能方面,Sensofar設(shè)備具備高分辨率和高穩(wěn)定性,支持多種測(cè)量模式,如共聚焦、白光干涉和多焦面疊加,適用于不同表面特性樣品的測(cè)量。設(shè)備支持多種樣品臺(tái)和自動(dòng)聚焦功能,便于靈活調(diào)整測(cè)量參數(shù)。
Sensofar設(shè)備的光學(xué)系統(tǒng)采用高線(xiàn)性電容傳感器和閉環(huán)反饋壓電陶瓷,確保測(cè)量的穩(wěn)定性和重復(fù)性。設(shè)備支持多種物鏡選擇,適用于不同放大倍率和工作距離的需求。
Sensofar設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、精密光學(xué)、材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)和工業(yè)制造等領(lǐng)域,適用于表面粗糙度、臨界尺寸和三維形貌的測(cè)量。設(shè)備操作簡(jiǎn)便,支持多種軟件分析工具,便于用戶(hù)快速完成測(cè)量和分析。
Sensofar三維共聚焦白光干涉儀是一款高性能、高精度的光學(xué)測(cè)量設(shè)備,適用于多種復(fù)雜表面的高精度測(cè)量需求。Sensofar三維共聚焦白光干涉儀
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