在光學(xué)玻璃、電子顯示屏、精密儀器制造等領(lǐng)域，玻璃表面質(zhì)量直接影響產(chǎn)品的光學(xué)性能和使用壽命。Sensofar共聚焦白光干涉儀作為先進(jìn)的三維表面形貌測(cè)量設(shè)備，憑借其獨(dú)特的多技術(shù)融合優(yōu)勢(shì)，為玻璃表面質(zhì)量檢測(cè)提供了高精度、非接觸式的解決方案。

　　一、核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)

　　Sensofar設(shè)備創(chuàng)新性地整合了共聚焦顯微鏡、白光干涉儀和相位差干涉三大技術(shù)，通過(guò)智能軟件實(shí)現(xiàn)無(wú)縫切換：

　　1.白光干涉模式：針對(duì)玻璃等光滑表面（如光學(xué)鏡片、手機(jī)蓋板），提供納米級(jí)垂直分辨率，可精確測(cè)量表面粗糙度Ra值至0.1nm級(jí)別

　　2.共聚焦技術(shù)：在測(cè)量玻璃邊緣或帶微結(jié)構(gòu)的表面時(shí)（如3D曲面玻璃），保持70°斜面測(cè)量能力，橫向分辨率達(dá)0.10μm

　　3.相位差干涉：對(duì)超光滑玻璃基板（如半導(dǎo)體晶圓）實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)精度檢測(cè)

　　其自有的真彩色共聚焦成像技術(shù)，通過(guò)RGB三色LED照明還原真實(shí)色彩，便于識(shí)別玻璃表面的微觀缺陷。

　　二、玻璃檢測(cè)典型應(yīng)用

　　1.光學(xué)玻璃質(zhì)量管控

　　①測(cè)量透鏡表面的PV值（峰谷值）和RMS粗糙度；

　?、跈z測(cè)鍍膜前基板的平整度；

　?、圩R(shí)別拋光過(guò)程中的劃痕、麻點(diǎn)等缺陷（分辨率達(dá)亞微米級(jí)）。

　　2.電子玻璃表面分析

　?、贆z測(cè)手機(jī)/平板蓋板玻璃的邊緣倒角曲率；

　?、跍y(cè)量ITO導(dǎo)電膜的涂層均勻性；

　?、墼u(píng)估鋼化玻璃的應(yīng)力紋分布。

　　3.特殊工藝驗(yàn)證

　　①測(cè)量化學(xué)蝕刻玻璃的微結(jié)構(gòu)深度；

　?、诜治鰥A層玻璃中間層的結(jié)合界面質(zhì)量。

　　三、智能檢測(cè)流程

　　1.樣品準(zhǔn)備：將玻璃試樣置于防震平臺(tái)，選擇合適倍率物鏡（5×-150×）；

　　2.模式選擇：通過(guò)SensoSCAN軟件自動(dòng)匹配測(cè)量模式；

　　3.數(shù)據(jù)采集：5軸系統(tǒng)確保全表面覆蓋，尤其適合異形玻璃檢測(cè)；

　　4.分析輸出：自動(dòng)生成三維形貌圖、粗糙度曲線、缺陷分布報(bào)告。

　　Sensofar設(shè)備支持小視野高精度與大范圍快速掃描的靈活切換，單次測(cè)量即可獲取表面形貌、粗糙度、波紋度等20余項(xiàng)參數(shù)。其非接觸式測(cè)量特性避免了傳統(tǒng)接觸式探針可能造成的玻璃損傷，特別適合超薄玻璃（厚度＜0.5mm）的檢測(cè)需求。

　　在顯示面板、光伏玻璃、光學(xué)器件等制造領(lǐng)域，Sensofar共聚焦白光干涉儀正成為質(zhì)量控制的關(guān)鍵工具，為玻璃表面質(zhì)量提供從納米到微米尺度的全面表征能力。