Sensofar 3D光學(xué)輪廓儀的光學(xué)薄膜檢測

產(chǎn)品簡介

Sensofar 3D光學(xué)輪廓儀的光學(xué)薄膜檢測：Sensofar S neox可對光學(xué)薄膜的厚度、表面缺陷及應(yīng)力形變進行納米級測量，確保其表面質(zhì)量與膜厚均勻性，保障光學(xué)系統(tǒng)性能。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-11-27

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三維光學(xué)輪廓儀

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Sensofar 3D光學(xué)輪廓儀的光學(xué)薄膜檢測

Sensofar S neox 3D光學(xué)輪廓儀在光學(xué)薄膜檢測中具有重要應(yīng)用。光學(xué)薄膜是現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)的關(guān)鍵組成部分，其表面質(zhì)量直接影響光學(xué)性能。該儀器為光學(xué)薄膜的檢測提供了有效的技術(shù)手段。

在薄膜厚度測量方面，儀器可以測量薄膜表面的臺階高度，從而得到膜厚信息。對于多層膜結(jié)構(gòu)，可以通過選擇性刻蝕制備臺階，測量各層厚度。儀器的垂直分辨率可以達到亞納米級，滿足光學(xué)薄膜的測量要求，確保薄膜厚度的精確控制。

表面缺陷檢測是另一個重要應(yīng)用。儀器可以檢測薄膜表面的點缺陷、劃痕等瑕疵，統(tǒng)計缺陷的密度和分布。對于激光損傷閾值要求高的薄膜，表面微缺陷的檢測尤為重要。它的大面積掃描功能可以實現(xiàn)全場缺陷檢測，提高檢測效率。

薄膜應(yīng)力分析也可以通過表面形貌測量間接實現(xiàn)。儀器可以測量薄膜沉積前后的基片形貌變化，通過翹曲度計算薄膜應(yīng)力。這種方法為優(yōu)化沉積工藝提供了重要反饋。對于大面積薄膜，可以測量應(yīng)力的分布情況，確保薄膜均勻性。

在光學(xué)性能預(yù)測方面，表面粗糙度與散射損耗直接相關(guān)。儀器可以精確測量薄膜表面的微觀起伏，評估表面質(zhì)量對光學(xué)性能的影響。對于高反射膜、增透膜等光學(xué)薄膜，表面粗糙度控制是保證光學(xué)性能的關(guān)鍵因素。

值得一提的是，該儀器可以測量薄膜斷面的形貌，分析薄膜的截面結(jié)構(gòu)。結(jié)合傾斜測量功能，可以獲得更完整的薄膜三維信息。這些數(shù)據(jù)對理解薄膜生長機理、優(yōu)化制備工藝具有指導(dǎo)意義，有助于提高光學(xué)薄膜的性能和質(zhì)量。

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