白光干涉儀S neox的5軸測(cè)量意義

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白光干涉儀S neox的5軸測(cè)量意義：Sensofar S neox的5軸測(cè)量系統(tǒng)通過傾斜與旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，使復(fù)雜表面的目標(biāo)區(qū)域始終垂直對(duì)焦，實(shí)現(xiàn)對(duì)傾斜面、側(cè)壁等特征的精確三維形貌測(cè)量。

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更新時(shí)間：2025-11-18

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白光干涉儀S neox的5軸測(cè)量意義

在三維表面測(cè)量中，一個(gè)常見的挑戰(zhàn)是如何精確測(cè)量具有復(fù)雜幾何形狀的樣品，例如傾斜的平面、柱狀體的側(cè)面或球面的特定區(qū)域。傳統(tǒng)的三軸（X, Y, Z）測(cè)量系統(tǒng)在測(cè)量這些非水平表面時(shí)，可能因樣品表面與物鏡光軸不垂直而導(dǎo)致信號(hào)質(zhì)量下降或無法測(cè)量。Sensofar S neox提供的5軸測(cè)量能力，為應(yīng)對(duì)這一挑戰(zhàn)提供了更多靈活性。

5軸系統(tǒng)通常指三個(gè)線性軸（X, Y, Z）和兩個(gè)旋轉(zhuǎn)軸（傾斜和旋轉(zhuǎn)）。S neox的集成式5軸系統(tǒng)允許樣品臺(tái)不僅能在平面內(nèi)移動(dòng)和垂直掃描，還能進(jìn)行精密的傾斜和旋轉(zhuǎn)調(diào)整。

這種設(shè)計(jì)的直接好處是，用戶可以通過調(diào)整樣品的傾斜和旋轉(zhuǎn)角度，使待測(cè)的復(fù)雜表面區(qū)域與物鏡的光軸保持垂直。例如，在測(cè)量一個(gè)微切削工具的刃口時(shí)，可以通過傾斜樣品臺(tái)，將刃口的一個(gè)特定斜面調(diào)整到最佳測(cè)量位置。這對(duì)于獲取陡峭側(cè)壁的完整、準(zhǔn)確形貌信息尤為重要，因?yàn)榇怪比肷涞墓饩€能獲得的信號(hào)和最高的分辨率。

此外，5軸系統(tǒng)便于多視角測(cè)量。對(duì)于某些具有遮擋或深孔的結(jié)構(gòu)，從一個(gè)角度可能無法觀測(cè)到全部特征。通過旋轉(zhuǎn)樣品，可以從不同角度進(jìn)行測(cè)量，然后利用軟件將多個(gè)視角的數(shù)據(jù)融合，生成更完整的三維模型。

在自動(dòng)化測(cè)量中，5軸聯(lián)動(dòng)也提升了效率?？梢灶A(yù)先設(shè)定好程序，讓儀器在測(cè)量不同特征時(shí)自動(dòng)將樣品調(diào)整到最佳角度，無需手動(dòng)重新裝夾，保證了測(cè)量位置的可重復(fù)性和數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。

因此，Sensofar S neox的5軸測(cè)量能力，擴(kuò)展了白光干涉儀對(duì)復(fù)雜幾何形狀樣品的測(cè)量適應(yīng)性，使對(duì)傾斜面、側(cè)壁等特征的精確、重復(fù)性測(cè)量變得更加可行。

白光干涉儀S neox的5軸測(cè)量意義

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