白光干涉儀S neox的高反射表面測(cè)量

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白光干涉儀S neox的高反射表面測(cè)量；Sensofar S neox通過可調(diào)光源、偏振附件與優(yōu)化算法，有效抑制高反光表面過曝，實(shí)現(xiàn)對(duì)拋光金屬、硅片等樣品的高質(zhì)量三維測(cè)量。

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更新時(shí)間：2025-11-12

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三維光學(xué)輪廓儀

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白光干涉儀S neox的高反射表面測(cè)量

高反射表面，如經(jīng)過拋光的不銹鋼、金屬鍍層、硅片等，在光學(xué)測(cè)量中是一把劍。一方面，高反射率意味著信號(hào)強(qiáng)度可能足夠；另一方面，強(qiáng)烈的鏡面反射容易導(dǎo)致相機(jī)探測(cè)器飽和，產(chǎn)生“耀斑"，掩蓋表面細(xì)節(jié)，并使干涉條紋過曝，從而無法進(jìn)行有效的三維形貌重建。Sensofar S neox 3D光學(xué)輪廓儀提供了多種應(yīng)對(duì)策略，以處理高反射表面帶來的測(cè)量挑戰(zhàn)。

最直接的調(diào)節(jié)手段是控制光源強(qiáng)度。S neox配備可自動(dòng)或手動(dòng)調(diào)節(jié)亮度的LED光源。對(duì)于高反射表面，用戶可以大幅降低光源亮度，以避免探測(cè)器飽和。這是處理大多數(shù)高反射表面情況有效的方法。

當(dāng)僅調(diào)節(jié)光強(qiáng)仍不足以消除局部過曝或耀斑時(shí)，偏振技術(shù)可以作為一種有效的輔助手段。S neox可以選配偏振器附件。通過調(diào)整起偏器和檢偏器的相對(duì)角度，可以選擇性地抑制來自樣品表面的強(qiáng)反射光成分，同時(shí)保留用于形成干涉的漫反射或特定偏振方向的反射光，從而改善圖像質(zhì)量，獲得對(duì)比度更好的干涉條紋。

此外，調(diào)整照明方式也可能帶來改善。例如，在某些情況下，利用非科勒照明或其他特定的光路設(shè)置，可以分散強(qiáng)烈的反射光斑，減輕其對(duì)整體圖像的影響。

除了光學(xué)調(diào)節(jié)，軟件算法也提供了一定的補(bǔ)救措施。即使原始圖像中存在部分過曝區(qū)域，*的三維重建算法也會(huì)嘗試?yán)糜行У母缮嫘盘?hào)部分來重建形貌，盡可能減少數(shù)據(jù)丟失區(qū)域。對(duì)于因過曝而無效的點(diǎn)，軟件會(huì)進(jìn)行標(biāo)識(shí)，用戶可以在結(jié)果中清晰看到這些區(qū)域。

對(duì)于某些特殊結(jié)構(gòu)的高反射表面，如球面或弧面，強(qiáng)烈的反射可能會(huì)造成更大的困難。此時(shí)，可能需要結(jié)合多種策略，例如使用低倍物鏡以減少單位面積的光通量，同時(shí)降低光強(qiáng)，并仔細(xì)調(diào)整樣品傾斜角度，以找到優(yōu)良的測(cè)量位置。

因此，面對(duì)高反射表面，Sensofar S neox并非束手無策。它通過硬件上的光強(qiáng)可調(diào)、偏振附件可選，以及軟件上的算法優(yōu)化，為用戶提供了多種可以嘗試的方案。用戶可以根據(jù)具體樣品的特點(diǎn)，靈活運(yùn)用這些工具，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)各類高反射表面較為有效的三維形貌測(cè)量。

白光干涉儀S neox的高反射表面測(cè)量