白光干涉儀S neox的技術(shù)融合之道

產(chǎn)品簡介

白光干涉儀S neox的技術(shù)融合之道：Sensofar S neox創(chuàng)新性地將共聚焦、白光干涉和形貌對比三種技術(shù)融于一體，可根據(jù)樣品特性智能切換或協(xié)同工作，實現(xiàn)從粗糙到光滑表面的高效、精準三維測量。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2025-11-12

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

三維光學輪廓儀

布魯克 BEUKER白光干涉光學輪廓儀 Sensofar 儀光新型共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR 3D光學輪廓儀 SENSOFAR共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR結(jié)構(gòu)光三維輪廓儀 SENSOFAR平面度測量干涉儀 ZYGO三維光學輪廓儀布魯克三維光學輪廓儀

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白光干涉儀S neox的技術(shù)融合之道

在現(xiàn)代精密計量領(lǐng)域，面對復雜的應用場景，很少有單一測量技術(shù)能夠應對所有挑戰(zhàn)。共聚焦顯微鏡擅長測量高陡坡和粗糙表面，白光干涉儀在測量光滑表面時具有優(yōu)異的垂直分辨率，而形貌對比成像則能提供高清晰度的光學圖像。Sensofar S neox 3D光學輪廓儀的一個顯著特點是將其三種技術(shù)集成于一個平臺，實現(xiàn)了技術(shù)融合，從而拓展了設(shè)備的綜合應用能力。

這種融合并非簡單的功能疊加，而是通過精心的光路設(shè)計和智能軟件控制，實現(xiàn)了“1+1>2"的效果。儀器內(nèi)部，光路被設(shè)計成可以在這三種模式之間快速、自動地切換。用戶無需更換硬件組件，即可根據(jù)樣品的實時圖像和測量需求，選擇最合適的技術(shù)。

智能化的軟件在技術(shù)選擇中扮演著重要角色。對于經(jīng)驗不足的用戶，軟件可以提供基于樣品表面特性的自動模式推薦。例如，當軟件識別到視野內(nèi)主要為光滑表面時，可能會建議采用白光干涉模式；當檢測到大量陡峭邊緣或粗糙結(jié)構(gòu)時，則可能推薦共聚焦模式。這有助于用戶更快地獲得可靠的測量結(jié)果。

更重要的是，三種技術(shù)可以協(xié)同工作，用于測量一個復雜樣品。例如，用戶可以先用共聚焦模式快速掃描一個大面積區(qū)域，定位到幾個需要精細檢查的平滑區(qū)域，然后針對這些特定區(qū)域，切換到白光干涉模式進行納米級粗糙度測量。整個流程可以在一個測量程序中自動完成。這種協(xié)同工作方式，既保證了測量效率，又兼顧了不同區(qū)域?qū)y量技術(shù)的優(yōu)良適應性。

技術(shù)融合還體現(xiàn)在數(shù)據(jù)的互補性上。有時，單一技術(shù)獲得的數(shù)據(jù)可能存在不確定性。例如，在白光干涉測量中，對于某些特殊結(jié)構(gòu)，可能會存在解包裹算法的歧義。此時，共聚焦模式獲得的獨立數(shù)據(jù)可以作為驗證和補充，提高測量結(jié)果的可信度。同時，高清晰度的形貌對比圖像始終為用戶提供直觀的視覺參考，便于判斷測量區(qū)域的代表性。

Sensofar S neox的技術(shù)融合之道，體現(xiàn)了一種面向?qū)嶋H應用問題的系統(tǒng)解決方案思想。它通過集成多種經(jīng)過驗證的測量技術(shù)，并使其能夠靈活、便捷地組合使用，為用戶提供了一個適應性更廣、功能更全面的測量平臺，能夠從容應對從超光滑光學表面到粗糙的機械加工表面等多樣化的測量任務。