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Sensofar白光干涉三維輪廓儀操作指南?

產(chǎn)品簡介

Sensofar白光干涉三維輪廓儀操作指南?
Sensofar S lynx輪廓儀的測量穩(wěn)定性和使用壽命，與其硬件架構(gòu)設(shè)計(jì)和材料選擇相關(guān)聯(lián)。從整體結(jié)構(gòu)到核心組件，其設(shè)計(jì)均考慮了工業(yè)化環(huán)境下的使用需求。

產(chǎn)品型號：lynx2
更新時(shí)間：2025-10-23
廠商性質(zhì)：代理商
訪問量：144
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Sensofar白光干涉三維輪廓儀操作指南

建立并遵循規(guī)范的操作流程，是使用Sensofar S lynx輪廓儀獲得可靠、可重復(fù)測量結(jié)果的重要環(huán)節(jié)。流程涵蓋從開機(jī)準(zhǔn)備到數(shù)據(jù)保存的全過程。
測量前準(zhǔn)備

環(huán)境與樣本檢查：確保儀器放置在穩(wěn)固的臺面上，遠(yuǎn)離強(qiáng)振動源和氣流。檢查樣本表面是否清潔、干燥，無松動顆粒。對于微小樣本，需確保其被穩(wěn)定地固定于樣品臺上。

開機(jī)與初始化：依次打開儀器主機(jī)、電腦顯示器電源，最后啟動儀器主機(jī)。啟動配套的SensoMAP測量軟件，軟件通常會執(zhí)行系統(tǒng)自檢和初始化流程。

樣本放置：將樣本輕放于樣品臺中心區(qū)域，避免碰撞物鏡。
對焦與測量設(shè)置

選擇物鏡與觀察：在軟件界面選擇適合的物鏡倍數(shù)。使用軟件控制樣品臺移動，找到需要測量的區(qū)域。通過實(shí)時(shí)圖像功能，調(diào)整Z軸高度直至圖像清晰。

選擇測量模式：根據(jù)樣本特性選擇“共聚焦"（Confocal）或“白光干涉"（VSI）模式。對于不熟悉的樣本，可先用共聚焦模式進(jìn)行快速預(yù)覽。

設(shè)置掃描參數(shù)：設(shè)定垂直掃描的起始點(diǎn)和結(jié)束點(diǎn)，確保范圍能覆蓋待測特征的高度。設(shè)置合適的掃描步長，步長越小，理論上垂直分辨率越高，但掃描時(shí)間會增加?？蓡⒂谩白詣悠毓?功能讓系統(tǒng)優(yōu)化光照條件。
執(zhí)行測量與數(shù)據(jù)處理

開始測量：確認(rèn)參數(shù)無誤后，啟動單點(diǎn)或區(qū)域掃描。儀器將自動完成Z軸掃描和數(shù)據(jù)采集。

數(shù)據(jù)重建與預(yù)覽：掃描結(jié)束后，軟件會自動處理數(shù)據(jù)，生成三維形貌圖、二維等高圖、輪廓線等，用戶可即時(shí)預(yù)覽測量效果。

大區(qū)域測量：若需測量超出單視場的區(qū)域，可使用軟件提供的拼接測量功能（如Tile Scan），預(yù)設(shè)拼接行列數(shù)，儀器將自動完成多視場測量與拼接。
數(shù)據(jù)分析與報(bào)告生成

數(shù)據(jù)調(diào)平與濾波：使用軟件的數(shù)據(jù)處理工具，首先應(yīng)用“調(diào)平"功能去除樣本傾斜帶來的誤差。根據(jù)需要，可選用合適的濾波器（如高斯濾波器、形態(tài)學(xué)濾波器）分離形狀、波紋度和粗糙度成分。

參數(shù)提取：在感興趣區(qū)域（ROI）內(nèi)，計(jì)算表面粗糙度參數(shù)（Sa, Sq, Sz等）、臺階高度、體積、表面積、幾何尺寸等。

結(jié)果保存與導(dǎo)出：將包含原始數(shù)據(jù)和分析結(jié)果的項(xiàng)目文件保存為特定格式?？蓪⑷S圖像、二維曲線和數(shù)據(jù)表格導(dǎo)出為通用格式（如.png, .csv），用于編制報(bào)告
總結(jié)
通過標(biāo)準(zhǔn)化的操作步驟，用戶可以系統(tǒng)性地完成測量任務(wù)，有助于減少操作誤差，保證測量結(jié)果的一致性和可追溯性。


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