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SensofarS lynx2：光學(xué)輪廓儀平臺簡介?

產(chǎn)品簡介

SensofarS lynx2：光學(xué)輪廓儀平臺簡介?
Sensofar S lynx系列是設(shè)計(jì)用于工業(yè)與研發(fā)環(huán)境的三維光學(xué)輪廓儀平臺。該平臺將共聚焦成像和白光垂直掃描干涉（VSI）等光學(xué)測量技術(shù)集成于一體，旨在提供一種非接觸式的表面三維形貌測量方案。其設(shè)計(jì)思路側(cè)重于測量的效率和操作的流暢性，適用于生產(chǎn)質(zhì)量控制、實(shí)驗(yàn)室研發(fā)等場合。

產(chǎn)品型號：
更新時(shí)間：2025-10-23
廠商性質(zhì)：代理商
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SensofarS lynx2：光學(xué)輪廓儀平臺簡介

Sensofar S lynx系列是設(shè)計(jì)用于工業(yè)與研發(fā)環(huán)境的三維光學(xué)輪廓儀平臺。該平臺將共聚焦成像和白光垂直掃描干涉（VSI）等光學(xué)測量技術(shù)集成于一體，旨在提供一種非接觸式的表面三維形貌測量方案。其設(shè)計(jì)思路側(cè)重于測量的效率和操作的流暢性，適用于生產(chǎn)質(zhì)量控制、實(shí)驗(yàn)室研發(fā)等場合。
產(chǎn)品細(xì)節(jié)與用途
S lynx的核心在于其多技術(shù)引擎。平臺允許在同一系統(tǒng)中使用共聚焦技術(shù)和白光干涉VSI技術(shù)。共聚焦技術(shù)有助于測量具有陡峭側(cè)壁或散射性強(qiáng)的表面，而VSI技術(shù)則適用于測量平坦或輕微起伏的光滑表面。用戶可根據(jù)樣本特性在軟件中切換測量模式。儀器采用一體式結(jié)構(gòu)，光學(xué)頭與樣品臺集成在穩(wěn)固的機(jī)座內(nèi)。其主要用途包括半導(dǎo)體、微電子元件、材料涂層、精密光學(xué)等產(chǎn)品的三維形貌、粗糙度、臺階高度等參數(shù)的量化分析。


SensofarS lynx2：光學(xué)輪廓儀平臺簡介?


產(chǎn)品性能與用材
S lynx的性能體現(xiàn)在其測量的重復(fù)性和效率上。儀器外殼主要采用金屬材料，為內(nèi)部核心光學(xué)部件提供保護(hù)并抑制外部振動(dòng)的影響。樣品臺通常為金屬材質(zhì)，保證承載樣本時(shí)的穩(wěn)定性。光學(xué)路徑經(jīng)過密封設(shè)計(jì)，以減少空氣流動(dòng)和灰塵的影響。自動(dòng)化的部件如物鏡轉(zhuǎn)盤和濾光輪，其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)考慮了長期使用的耐用性。
參數(shù)表（示例

  • 測量技術(shù)：共聚焦、白光干涉垂直掃描 (VSI)

  • 垂直量程：可達(dá)數(shù)毫米（依配置而定）

  • 橫向分辨率：與物鏡相關(guān)，可達(dá)亞微米級

  • 垂直分辨率：亞納米級 (VSI 模式)

  • 物鏡轉(zhuǎn)盤：自動(dòng)切換，最多可配置5個(gè)物鏡

  • 樣品臺：電動(dòng)平臺，行程可達(dá) 200 x 200 mm
使用說明要點(diǎn)
操作S lynx時(shí)，首先將樣本平穩(wěn)放置于樣品臺。啟動(dòng)SensoMAP軟件，軟件界面會引導(dǎo)用戶進(jìn)行初始化。通過實(shí)時(shí)圖像選擇觀察區(qū)域，并根據(jù)樣本表面特性選擇測量模式和物鏡。設(shè)定垂直掃描范圍后，可啟動(dòng)自動(dòng)測量序列。儀器將完成掃描并重建三維形貌數(shù)據(jù)。后續(xù)可利用軟件豐富的分析工具進(jìn)行參數(shù)計(jì)算和結(jié)果導(dǎo)出。
總結(jié)
Sensofar S lynx平臺通過集成多種光學(xué)測量技術(shù)，旨在滿足不同的三維表面測量需求。其一體式結(jié)構(gòu)和自動(dòng)化設(shè)計(jì)，為使用者提供了從測量到分析的工作流程。


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