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光學(xué)顯微鏡
基恩士
基恩士 VK-X3000:微觀世界的探索利器
基恩士 VK-X3000:微觀世界的探索利器VK-X3000的用途因此十分廣泛。它可以用于測量金屬件的加工粗糙度,檢查玻璃表面的微小劃痕,評估高分子材料的磨損情況,分析涂層或鍍層的厚度與均勻性,甚至觀察生物材料的表面結(jié)構(gòu)。這種對多材料的適應(yīng)性,使其成為跨行業(yè)研發(fā)和品質(zhì)管理中一種有用的工具。
產(chǎn)品分類
分辨率與精度:在激光共聚焦模式下,不同物鏡展現(xiàn)出優(yōu)秀的高度與寬度重復(fù)性精度。如 10X 物鏡高度重復(fù)性精度 σ 可達(dá) 100nm,寬度重復(fù)性精度 3σ 為 400nm;20X 物鏡高度重復(fù)性精度 σ 為 40nm,寬度重復(fù)性精度 3σ 為 100nm;50X 物鏡高度重復(fù)性精度 σ 達(dá) 20nm,寬度重復(fù)性精度 3σ 為 50nm。聚焦變化模式下,5X 物鏡高度重復(fù)性精度 σ 為 500nm,寬度重復(fù)性精度 3σ 為 400nm 等,不同倍率物鏡均能滿足多種精度要求的測量場景。其高度測量精度可達(dá) 0.2 + l/100μm 或更低(l 為測量長度),寬度精度為測量值 ±2% 或更低,能精準(zhǔn)測量微小形狀變化,即便是納米級別的細(xì)節(jié)也能清晰呈現(xiàn)。
測量范圍:載物臺 X/Y/Z 軸最大行程分別為 100mm@X 軸、100mm@Y 軸、50mm@Z 軸,可適應(yīng)不同尺寸樣品的檢測需求。同時(shí),該顯微鏡能覆蓋從微觀納米級到宏觀毫米級的測量范圍,無論是微小的芯片元件,還是尺寸較大的機(jī)械零件表面結(jié)構(gòu),都能進(jìn)行全面且細(xì)致的觀測分析。
掃描速度:通過優(yōu)化感應(yīng)技術(shù)與測量進(jìn)程,基恩士 VK-X3000 在保證測量精度的同時(shí),具備較快的掃描速度。表面測量最快可達(dá) 125Hz,線測量最高可達(dá) 7900Hz,可在短時(shí)間內(nèi)獲取大量測量數(shù)據(jù),顯著提升工作效率,尤其適用于批量樣品檢測或?qū)r(shí)間要求較高的實(shí)驗(yàn)場景。
光學(xué)部件:所配物鏡選用優(yōu)質(zhì)光學(xué)材料,不同倍率物鏡具備相應(yīng)出色性能。如 5X 物鏡數(shù)值孔徑 NA≥0.13,工作距離 WD22.5mm;10X 物鏡 NA≥0.30,WD16.5mm 等,能滿足不同觀測深度與分辨率需求。同時(shí),采用連畫面邊緣都少有失真的遠(yuǎn)心鏡頭,確保在整個(gè)視野內(nèi)進(jìn)行高精度測量,如實(shí)捕捉目標(biāo)物的形狀和大小。光源方面,配備 661nm 半導(dǎo)體紅色激光(II 類激光)以及白色 LED 光源,為不同測量模式提供穩(wěn)定可靠的照明。
機(jī)身與載物臺:機(jī)身設(shè)計(jì)緊湊合理,便于安置與操作。載物臺 XY 軸支持電動(dòng)運(yùn)行方式,方便快速調(diào)整樣品位置;Z 軸支持電動(dòng)及手動(dòng)運(yùn)行方式,滿足精細(xì)調(diào)節(jié)需求。載物臺采用穩(wěn)固材質(zhì),可穩(wěn)定承載各類樣品,確保測量過程中樣品不會(huì)發(fā)生位移或晃動(dòng),影響測量結(jié)果。
材料科學(xué)研究:在金屬材料研究中,可用于觀察金屬晶體結(jié)構(gòu)、分析材料內(nèi)部缺陷與微觀組織形態(tài),幫助研究人員了解材料性能與微觀結(jié)構(gòu)的關(guān)系,為材料研發(fā)與性能優(yōu)化提供依據(jù);對于高分子材料,能觀測材料表面的微觀形貌、相分離結(jié)構(gòu)等,助力開發(fā)新型高分子材料。
半導(dǎo)體行業(yè):檢測芯片表面的平整度、線路高度與寬度、芯片封裝質(zhì)量等。例如,通過測量芯片線路的尺寸精度,判斷芯片制造工藝是否達(dá)標(biāo),確保芯片性能穩(wěn)定可靠,提升半導(dǎo)體產(chǎn)品的良品率。
生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域:觀察生物組織切片的微觀結(jié)構(gòu),如細(xì)胞形態(tài)、組織結(jié)構(gòu)層次等,輔助病理診斷;在生物材料研究中,分析生物植入體表面的微觀特征,評估其生物相容性,為生物醫(yī)學(xué)工程的發(fā)展提供支持。
精密制造與質(zhì)量控制:在精密模具制造中,測量模具表面的粗糙度、尺寸精度以及微小瑕疵,保障模具制造質(zhì)量;在電子元件制造中,對微小電子元件的尺寸、形狀進(jìn)行精確測量與質(zhì)量檢測,確保元件符合生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)。
項(xiàng)目 | 詳情 |
設(shè)備型號 | VK-X3000 |
測量光路結(jié)構(gòu) | 正置分體式 |
探測器模塊 | 16BIT 光電倍增器、面陣探測器彩色 CMOS |
載物臺運(yùn)行方式 | XY 軸電動(dòng),Z 軸電動(dòng)及手動(dòng) |
載物臺行程 | X 軸 100mm,Y 軸 100mm,Z 軸 50mm |
測量模式 | 激光共聚焦、聚焦變化、白光干涉 |
物鏡數(shù)值孔徑及工作距離 | 5X 物鏡:NA≥0.13,WD22.5mm;10X 物鏡:NA≥0.30,WD16.5mm;20X 物鏡:NA≥0.46,WD3.1mm;50X 物鏡:NA≥0.8,WD0.54mm;150X APO 物鏡:NA≥0.95,WD0.2mm;20X 干涉物鏡:WD4.7mm |
光源類型 | 661nm 半導(dǎo)體紅色激光(II 類激光)、白色 LED 光源 |
激光共聚焦模式高度重復(fù)性精度 σ | 10X 物鏡:100nm;20X 物鏡:40nm;50X 物鏡:20nm |
激光共聚焦模式寬度重復(fù)性精度 3σ | 10X 物鏡:400nm;20X 物鏡:100nm;50X 物鏡:50nm |
聚焦變化模式高度重復(fù)性精度 σ | 5X 物鏡:500nm;10X 物鏡:100nm;20X 物鏡:50nm;50X 物鏡:30nm |
聚焦變化模式寬度重復(fù)性精度 3σ | 5X 物鏡:400nm;10X 物鏡:400nm;20X 物鏡:120nm;50X 物鏡:65nm |
掃描速度 | 表面:125Hz,線:7900Hz |
總放大倍數(shù) | 42× 至 28800× |
視野范圍 | 11 至 7398μm |
電源要求 | 100 至 240VAC,50/60Hz,150VA |
環(huán)境要求 | 環(huán)境溫度 + 15 至 28°C,相對濕度 20 至 80% RH(無冷凝) |
重量 | 約 3kg(控制器) |
樣品準(zhǔn)備:根據(jù)樣品性質(zhì)與觀測需求,選擇合適的樣品固定方式,確保樣品穩(wěn)固放置在載物臺上,且觀測區(qū)域位于物鏡正下方。對于生物樣品,可能需要進(jìn)行切片、染色等預(yù)處理;對于金屬、電子元件等樣品,需確保表面清潔,無雜質(zhì)、油污等影響觀測的物質(zhì)。
設(shè)備開機(jī)與參數(shù)設(shè)置:接通電源,開啟設(shè)備。根據(jù)樣品類型與測量目的,在操作界面選擇相應(yīng)的測量模式(激光共聚焦、聚焦變化或白光干涉)。設(shè)置物鏡倍率、掃描范圍、掃描速度、分辨率等參數(shù)。例如,若觀測芯片表面細(xì)微線路,可選擇高倍率物鏡與較高分辨率;若測量較大尺寸樣品的整體形貌,可適當(dāng)擴(kuò)大掃描范圍,選擇較低倍率物鏡。
對焦與測量:通過手動(dòng)或電動(dòng)調(diào)節(jié) Z 軸,使物鏡接近樣品,利用激光自動(dòng)對焦功能初步確定焦點(diǎn)位置,再進(jìn)行微調(diào),直至獲得清晰的圖像。啟動(dòng)掃描程序,設(shè)備將按照設(shè)定參數(shù)對樣品進(jìn)行掃描,獲取微觀結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)。掃描過程中,可實(shí)時(shí)觀察圖像質(zhì)量,若發(fā)現(xiàn)異常,可暫停掃描,調(diào)整參數(shù)后重新測量。
數(shù)據(jù)處理與分析:測量完成后,設(shè)備配套軟件自動(dòng)生成測量數(shù)據(jù)與圖像。利用軟件內(nèi)置的 292 種分析工具,對數(shù)據(jù)進(jìn)行處理分析,如測量高度、寬度、面積、體積,計(jì)算粗糙度,進(jìn)行幾何測量等??赏ㄟ^動(dòng)態(tài)三維顯示功能,從不同角度觀察樣品微觀結(jié)構(gòu),更直觀地了解樣品特征。
結(jié)果保存與設(shè)備關(guān)閉:將測量數(shù)據(jù)與分析結(jié)果以合適格式(如模板報(bào)告模式 JPEG/TIF/BMP、CSV 格式文件、Excel 多文件報(bào)告格式等)保存至指定存儲設(shè)備。關(guān)閉設(shè)備電源,清理載物臺,為下一次使用做好準(zhǔn)備。
基恩士VK?X3000:參數(shù)表與型號對比
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