Sensofar LIN：入門級三維測量輪廓儀新選

在三維表面形貌測量領(lǐng)域，Sensofar LIN系列白光干涉輪廓儀提供了一種經(jīng)濟(jì)實(shí)用的入門選擇。該產(chǎn)品將白光干涉技術(shù)（VSI）與共聚焦技術(shù)相結(jié)合，旨在為尋求從二維測量邁向三維精細(xì)測量的用戶提供一個功能齊全、操作簡便的平臺。

產(chǎn)品細(xì)節(jié)上，LIN系列采用了模塊化設(shè)計(jì)。其核心是一套集成化的光學(xué)引擎，將光源、干涉物鏡、精密掃描系統(tǒng)和攝像頭整合于一體。這種設(shè)計(jì)有助于保持設(shè)備的穩(wěn)定性和測量的重復(fù)性。設(shè)備外觀緊湊，能夠較好地融入實(shí)驗(yàn)室或產(chǎn)線環(huán)境。

其性能特點(diǎn)在于提供了非接觸、無損的測量方式。白光干涉技術(shù)對光滑和輕微粗糙的表面有較好的適應(yīng)性，能快速獲取表面的三維形貌信息。通過切換物鏡，用戶可以在測量范圍和分辨率之間取得平衡，以滿足不同應(yīng)用場景的需求。

在材料適用性方面，LIN系列可用于測量多種表面的樣品，包括硅片、玻璃、金屬、塑料以及涂層等。例如，在半導(dǎo)體后段工藝中，可用于測量焊球的高度和共面性；在材料科學(xué)中，可用于分析薄膜表面的粗糙度。

以下是LIN系列某型號的示例參數(shù)（具體需以數(shù)據(jù)為準(zhǔn)）：

• 技術(shù)原理: 白光干涉（VSI）與共聚焦

• 物鏡配置: 可選配多種倍率，如10x, 20x, 50x

• 垂直分辨率: 亞納米級

• 水平分辨率: 可達(dá)0.5 μm

• 掃描范圍（Z軸）: 數(shù)毫米

• 平臺: 手動或電動平臺可選

使用說明強(qiáng)調(diào)用戶友好性。Sensofar的SensoMAP軟件提供了直觀的圖形化界面，引導(dǎo)用戶完成從樣品對焦、參數(shù)設(shè)置到掃描測量的全過程。軟件內(nèi)置了豐富的分析工具，可一鍵生成符合國際標(biāo)準(zhǔn)的二維、三維參數(shù)報告。

LIN系列的用途廣泛，適用于研發(fā)初期的材料表征、生產(chǎn)過程中的質(zhì)量抽檢以及學(xué)術(shù)研究中的數(shù)據(jù)分析，是步入三維微觀測量領(lǐng)域的一個考慮方向。

Sensofar LIN：入門級三維測量輪廓儀新選