從工業(yè)質(zhì)檢到科研分析，從微觀缺陷檢測(cè)到宏觀表面均勻性評(píng)估，表面形貌測(cè)量的需求正呈現(xiàn)多元化趨勢(shì)。Sensofar S wide大視野3D光學(xué)輪廓儀憑借其“模塊化設(shè)計(jì)+多技術(shù)融合"特性，成為跨領(lǐng)域表面測(cè)量的通用工具。

產(chǎn)品細(xì)節(jié)：靈活適配多樣化需求

S wide的機(jī)身采用模塊化設(shè)計(jì)，可根據(jù)用戶需求擴(kuò)展拉曼光譜儀、紅外成像模塊等附加功能，實(shí)現(xiàn)多技術(shù)聯(lián)用。其光學(xué)系統(tǒng)支持共聚焦顯微鏡與白光干涉雙模切換：共聚焦模式適合粗糙表面或高斜率樣品的測(cè)量，白光干涉模式則專注于納米級(jí)形貌分析。

設(shè)備搭載500萬(wàn)像素CMOS傳感器，配合數(shù)字變焦功能，既能實(shí)現(xiàn)10mm×10mm區(qū)域的整體掃描，也可對(duì)局部細(xì)節(jié)進(jìn)行放大觀察。樣品臺(tái)為電動(dòng)平移結(jié)構(gòu)，X/Y軸行程300mm×300mm（科研版）或500mm×500mm（工業(yè)版），承重范圍10kg-30kg，支持晶圓、復(fù)合材料板材、顯示面板等多樣化樣品。

性能優(yōu)勢(shì)：效率與精度的雙重保障

S wide的“快速拼接算法"支持多區(qū)域測(cè)量數(shù)據(jù)的自動(dòng)拼接，拼接精度0.1μm，拼接速度較傳統(tǒng)算法提升50%。以300mm×300mm晶圓測(cè)量為例，傳統(tǒng)設(shè)備需分9次掃描并手動(dòng)拼接，耗時(shí)1.5小時(shí)；S wide僅需1小時(shí)即可完成精細(xì)掃描（分辨率500nm），兼顧效率與精度。

在批量檢測(cè)場(chǎng)景中，S wide每小時(shí)可完成5-8塊光伏玻璃的全面檢測(cè)，或3-5塊液晶面板的表面質(zhì)量檢測(cè)。設(shè)備具備自動(dòng)缺陷分類功能，可預(yù)設(shè)劃痕、氣泡、異物等常見(jiàn)缺陷的特征參數(shù)，實(shí)現(xiàn)缺陷的自動(dòng)識(shí)別與分類統(tǒng)計(jì)，減少人工判斷誤差。

用材與工藝：耐用性與可靠性的雙重驗(yàn)證

光學(xué)鏡頭采用鈦合金鏡筒，重量輕且剛性強(qiáng)，長(zhǎng)期使用后不易形變；樣品臺(tái)導(dǎo)軌驅(qū)動(dòng)電機(jī)選用伺服電機(jī)，配合高精度光柵尺（分辨率0.01μm），移動(dòng)定位精度達(dá)±0.05μm。內(nèi)部散熱系統(tǒng)采用分區(qū)散熱設(shè)計(jì)，連續(xù)工作2小時(shí)后機(jī)身溫度波動(dòng)小于5℃，保障光學(xué)元件穩(wěn)定性。

設(shè)備外殼采用冷軋鋼板，表面經(jīng)過(guò)防靜電噴涂處理，能抵抗實(shí)驗(yàn)室常見(jiàn)化學(xué)試劑的腐蝕，同時(shí)減少靜電對(duì)電子元件的影響。關(guān)鍵部件如滾珠絲杠、伺服電機(jī)等均選用工業(yè)級(jí)耐用材料，使用壽命達(dá)3萬(wàn)小時(shí)以上。

參數(shù)表與型號(hào)對(duì)比

科研版?zhèn)戎赜诙喙δ苄耘c數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，配套軟件支持粗糙度分布、缺陷密度等參數(shù)的自動(dòng)計(jì)算；工業(yè)版則強(qiáng)化了批量檢測(cè)能力，支持與生產(chǎn)線對(duì)接實(shí)現(xiàn)自動(dòng)上下料。

典型跨領(lǐng)域應(yīng)用與操作指南

在半導(dǎo)體制造中，S wide用于分析晶圓表面的顆粒污染與薄膜厚度均勻性；在汽車制造領(lǐng)域，其大視場(chǎng)特性可快速檢測(cè)車身涂層的針孔、劃痕等微觀缺陷。操作流程如下：

1. 樣品固定：使用可調(diào)節(jié)夾具固定不規(guī)則形狀樣品，耐磨防滑墊防止滑動(dòng)；

2. 模式選擇：粗糙樣品選共聚焦模式，光滑樣品選白光干涉模式；

3. 區(qū)域定位：通過(guò)低倍物鏡框選測(cè)量區(qū)域，軟件自動(dòng)規(guī)劃掃描路徑；

4. 數(shù)據(jù)分析：生成包含3D形貌圖、截面曲線與粗糙度參數(shù)的檢測(cè)報(bào)告。

通過(guò)模塊化設(shè)計(jì)與多技術(shù)融合，S wide大視野3D光學(xué)輪廓儀正成為跨領(lǐng)域表面測(cè)量的“通用解決方案"，為工業(yè)質(zhì)檢與科研分析提供高效、可靠的技術(shù)支持。