Sensofar S neox：科研與工業(yè)通用測量語言

從量子點薄膜到航空發(fā)動機葉片，從活細胞培養(yǎng)到古生物化石，表面形貌測量的需求正跨越學科與行業(yè)邊界。Sensofar S neox通過標準化測量流程與開放式軟件架構(gòu)，成為連接微觀世界與宏觀應(yīng)用的橋梁。

跨尺度測量能力

S neox的測量范圍覆蓋納米至米級：在納米尺度，其白光干涉模式可檢測50μm直徑的鈍化層孔徑誤差；在毫米尺度，多焦面疊加模式能快速拼接150mm×150mm的太陽能電池板表面；在米級尺度，五軸款配合12英寸自動晶圓臺，可完成汽車車身涂層的全局粗糙度分析。這種跨尺度能力源于其智能拼接算法——通過特征點匹配技術(shù)，將多個視場的數(shù)據(jù)誤差控制在0.5μm以內(nèi)。

軟件生態(tài)：從數(shù)據(jù)采集到?jīng)Q策支持

SensoSCAN 7軟件平臺提供三級分析功能：基礎(chǔ)層支持ISO標準參數(shù)計算，如Sa（算術(shù)平均高度）、Sq（均方根高度）；進階層集成紋理方向性分析與功率譜密度計算，適用于摩擦學研究；頂層則嵌入SensoMAP機器學習模塊，可自動識別表面缺陷類型。在某存儲芯片失效分析案例中，S neox通過相移干涉模式在非破壞條件下清晰呈現(xiàn)20μm焊球下方的微裂紋，SensoMAP模塊進一步將裂紋擴展速率與電遷移數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)，為工藝改進提供量化依據(jù)。

硬件配置與選型建議

基礎(chǔ)款S neox適合科研機構(gòu)與中小型制造企業(yè)，其6位電動鼻輪可快速切換物鏡，滿足多任務(wù)測量需求；五軸款則面向航空航天、新能源汽車等大型部件檢測場景，其旋轉(zhuǎn)臺承載能力達50kg，重復定位精度±0.005°。用戶可根據(jù)預(yù)算與測量對象選擇配置：例如，生物醫(yī)學實驗室可加裝活細胞培養(yǎng)觀測系統(tǒng)，實現(xiàn)表面形貌與細胞行為的同步監(jiān)測；半導體工廠則需選配SECS/GEM接口，以集成至自動化生產(chǎn)線。

操作優(yōu)化與維護指南

為設(shè)備性能，建議每日開機后進行光源校準（使用NPL認證的標準塊），每月清潔物鏡組（使用專用鏡頭紙與乙醇溶液）。在測量高反射率樣品時，可啟用軟件中的動態(tài)光圈調(diào)節(jié)功能，將反射光強度降低至30%以下以避免過曝；對于透明薄膜，則需切換至405nm紫光光源以提高干涉對比度。Sensofar提供整機質(zhì)保1年服務(wù)，包括安裝調(diào)試、現(xiàn)場培訓與24小時內(nèi)電話支持。