Sensofar S neox 3D光學輪廓儀的設計理念是集成與靈活。它并非單一技術儀器，而是一個將共聚焦成像、白光干涉（VSI）和相移干涉（PSI）三種核心技術融于一身的多模式測量平臺。

這種多模式能力意味著用戶在面對不同特性的樣品時，無需更換設備即可完成測量。例如，測量一個既有光滑區(qū)域又有粗糙區(qū)域的復合樣品時，可以先使用共聚焦模式掃描粗糙部分，再切換至白光干涉模式測量光滑區(qū)域的納米級細節(jié)。儀器軟件可智能輔助模式選擇，甚至支持在同一測量區(qū)域內自動切換模式，確保每個區(qū)域都能用最合適的技術進行采集，從而獲得完整且準確的三維形貌數(shù)據(jù)。

S neox在機械結構上注重穩(wěn)定性，采用 rigid 的設計和材料以減少環(huán)境干擾。其自動物鏡轉盤可容納多達5個物鏡，實現(xiàn)從大視場導航到高分辨率細節(jié)測量的無縫切換，倍率范圍可從2.5X覆蓋至100X甚至更高。

在性能方面，其共聚焦模式能有效處理高斜率和低反射率表面，而白光干涉模式則提供了亞納米級的垂直分辨率，適用于超光滑表面的精密檢測。

用途廣泛：

• 微電子： 測量MEMS器件、硅片凸點、薄膜臺階。

• *材料： 分析涂層、復合材料、粗糙表面的3D紋理。

• 精密光學： 檢測非球面、自由曲面鏡子的面形和粗糙度。

使用說明： 用戶通過軟件選擇測量區(qū)域和所需的技術模式，設置掃描參數(shù)后，儀器可自動完成對焦、掃描和數(shù)據(jù)分析。高級的圖像拼接功能允許將多個視場的數(shù)據(jù)合并，創(chuàng)建大面積的高分辨率三維圖像。

對于研發(fā)實驗室或需要應對多種類、多要求樣品的質量控制部門，S neox的多功能性和靈活性提供了一個較為全面的解決方案。