ZYGO 光學(xué)輪廓儀

ZYGO ZeGage Pro是一款臺(tái)式3D光學(xué)輪廓儀，它基于白光干涉技術(shù)，為表面形貌測(cè)量提供解決方案。該設(shè)備采用緊湊化設(shè)計(jì)，在保持測(cè)量性能的同時(shí)，適應(yīng)實(shí)驗(yàn)室和車間的空間需求。

在精密制造和材料研究領(lǐng)域，對(duì)表面微觀特征的量化分析具有實(shí)際意義。能夠以非接觸方式獲取表面三維形貌信息的測(cè)量工具，為工藝評(píng)估和質(zhì)量控制提供了觀察方法。ZYGO ZeGage Pro光學(xué)輪廓儀，通過其技術(shù)特點(diǎn)，在這類測(cè)量任務(wù)中發(fā)揮作用。

該設(shè)備的工作原理基于白光干涉測(cè)量技術(shù)。系統(tǒng)利用寬光譜光源產(chǎn)生干涉信號(hào)，通過垂直掃描和相位分析，獲取樣品表面的高度信息。光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)考慮了測(cè)量的穩(wěn)定性和重復(fù)性，配套的分析軟件支持多種數(shù)據(jù)處理功能。這種技術(shù)路徑在應(yīng)對(duì)光滑表面和微米級(jí)臺(tái)階的測(cè)量時(shí)，表現(xiàn)出一定的適用性。

在實(shí)際應(yīng)用中，該設(shè)備可以用于多種材料的表面測(cè)量。在光學(xué)元件加工中，可用于觀察透鏡、棱鏡等元件的面形特征；在半導(dǎo)體行業(yè)，能夠?qū)A表面的薄膜狀態(tài)進(jìn)行測(cè)量；在精密機(jī)械領(lǐng)域，可用于評(píng)估零件加工后的表面紋理。測(cè)量過程不需要接觸樣品，這減少了對(duì)樣品表面可能產(chǎn)生的影響。

設(shè)備的使用流程相對(duì)簡(jiǎn)化。操作人員將樣品放置在載物臺(tái)上，通過軟件界面設(shè)置測(cè)量參數(shù)，啟動(dòng)自動(dòng)測(cè)量程序。系統(tǒng)完成掃描后，軟件會(huì)自動(dòng)處理數(shù)據(jù)，生成三維形貌圖像和相應(yīng)的參數(shù)報(bào)告。標(biāo)準(zhǔn)化的操作步驟有助于保持測(cè)量結(jié)果的一致性。

從技術(shù)指標(biāo)來看，該設(shè)備在垂直分辨率和橫向分辨率方面具有相應(yīng)的測(cè)量能力。其掃描范圍可以適應(yīng)從亞納米到毫米級(jí)的特征高度變化。測(cè)量速度能夠滿足常規(guī)檢測(cè)的時(shí)間要求。這些特點(diǎn)使其能夠在研發(fā)和質(zhì)檢環(huán)節(jié)中提供測(cè)量支持。

在使用環(huán)境中，設(shè)備對(duì)場(chǎng)地條件有一定要求。穩(wěn)定的溫度環(huán)境和必要的振動(dòng)隔離，有助于獲得更可靠的測(cè)量數(shù)據(jù)。定期的清潔和維護(hù)，可以保持光學(xué)系統(tǒng)的性能狀態(tài)。操作人員經(jīng)過基礎(chǔ)培訓(xùn)后，能夠完成常規(guī)的測(cè)量任務(wù)。

在數(shù)據(jù)分析方面，配套軟件提供了多種工具。用戶可以進(jìn)行表面粗糙度計(jì)算、臺(tái)階高度測(cè)量、截面輪廓分析等操作。數(shù)據(jù)導(dǎo)出格式支持與其他軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)交換。這些功能為深入分析表面特征提供了條件。

與同類設(shè)備相比，該產(chǎn)品在便攜性和易用性方面進(jìn)行了考慮。其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)相對(duì)緊湊，便于在不同工作區(qū)域之間移動(dòng)。用戶界面的設(shè)計(jì)注重直觀性，降低了學(xué)習(xí)使用的難度。這些特點(diǎn)使其適合于多地點(diǎn)或空間有限的使用場(chǎng)景。

總的來說，ZYGO ZeGage Pro光學(xué)輪廓儀為三維表面形貌測(cè)量提供了一種技術(shù)選擇。它通過非接觸的光學(xué)測(cè)量方式，獲取樣品表面的形貌信息，并以圖像和數(shù)據(jù)的形式呈現(xiàn)結(jié)果。這種測(cè)量方法在工業(yè)檢測(cè)和實(shí)驗(yàn)研究中具有一定的應(yīng)用空間，能夠?yàn)楸砻尜|(zhì)量評(píng)估提供參考依據(jù)。

ZYGO  光學(xué)輪廓儀