RMC超薄切片機(jī)的厚度控制機(jī)制詳解

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RMC超薄切片機(jī)的厚度控制機(jī)制詳解切片厚度是超薄切片機(jī)的核心參數(shù)，直接影響后續(xù)觀察效果。PowerTome PCZ通過“進(jìn)給量控制+反饋校準(zhǔn)"實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)厚度調(diào)節(jié)。

產(chǎn)品型號(hào)：PowerTome PCZ

更新時(shí)間：2025-10-23

廠商性質(zhì)：代理商

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

光鏡及電鏡制樣設(shè)備

美國RMC半薄&超薄切片機(jī) 徠卡電鏡制樣設(shè)備司特爾金相制樣設(shè)備

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RMC超薄切片機(jī)的厚度控制機(jī)制詳解切片厚度是超薄切片機(jī)的核心參數(shù)，直接影響后續(xù)觀察效果。PowerTome PCZ通過“進(jìn)給量控制+反饋校準(zhǔn)"實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)厚度調(diào)節(jié)。

熱膨脹進(jìn)給模式下，設(shè)備內(nèi)置微型加熱線圈包裹在進(jìn)給桿（通常為因瓦合金，熱膨脹系數(shù)1.2×10??/℃）外?？刂葡到y(tǒng)通過PID算法調(diào)節(jié)加熱功率，使進(jìn)給桿以0.1℃/步的速率升溫，對(duì)應(yīng)膨脹量約0.12nm/步。用戶設(shè)定的厚度值（如100nm）會(huì)被轉(zhuǎn)換為加熱總時(shí)長(zhǎng)，進(jìn)給桿推動(dòng)樣本臂完成一次切片后，自動(dòng)回退至初始位置，避免累積誤差。

機(jī)械進(jìn)給模式則依賴高精度滾珠絲桿（導(dǎo)程10μm）與步進(jìn)電機(jī)（步距角1.8°）。電機(jī)每接收一個(gè)脈沖，絲桿旋轉(zhuǎn)1.8°，推動(dòng)樣本臂前進(jìn)10μm/（360°/1.8°）≈0.005mm，即5nm。系統(tǒng)通過光電編碼器監(jiān)測(cè)電機(jī)轉(zhuǎn)速，確保進(jìn)給量與設(shè)定值一致。

為保證長(zhǎng)期精度，PCZ提供自動(dòng)校準(zhǔn)功能：用戶可使用標(biāo)準(zhǔn)厚度硅片（如50nm、100nm）作為參考，設(shè)備通過激光測(cè)厚儀測(cè)量切片實(shí)際厚度，反向修正進(jìn)給參數(shù)。某實(shí)驗(yàn)室曾因環(huán)境溫度變化（從20℃升至25℃）導(dǎo)致熱膨脹模式切片偏厚，通過校準(zhǔn)功能，5分鐘內(nèi)恢復(fù)精度至±3%以內(nèi)。

RMC超薄切片機(jī)的厚度控制機(jī)制詳解

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