ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀環(huán)境適配與維護規(guī)范解析

產(chǎn)品簡介

ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀環(huán)境適配與維護規(guī)范解析
ZYGO ZeGage Pro 3D光學(xué)輪廓儀通過多維度環(huán)境適配設(shè)計與標(biāo)準(zhǔn)化維護流程，確保設(shè)備在復(fù)雜環(huán)境中的穩(wěn)定運行與精準(zhǔn)測量，其環(huán)境控制能力與維護規(guī)范體現(xiàn)對測量精度的深度把控。

產(chǎn)品型號：ZeGage Pro

更新時間：2025-10-23

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：173

產(chǎn)品咨詢 17701039158

產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

激光干涉儀

ZYGO光學(xué)輪廓儀 Zygo激光干涉儀

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ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀環(huán)境適配與維護規(guī)范解析

ZYGO ZeGage Pro 3D光學(xué)輪廓儀通過多維度環(huán)境適配設(shè)計與標(biāo)準(zhǔn)化維護流程，確保設(shè)備在復(fù)雜環(huán)境中的穩(wěn)定運行與精準(zhǔn)測量，其環(huán)境控制能力與維護規(guī)范體現(xiàn)對測量精度的深度把控。

環(huán)境適配方案
設(shè)備支持多種環(huán)境控制方案以適應(yīng)不同場景需求。恒溫恒濕罩可將溫度波動控制在±0.5℃、濕度波動控制在±2%，避免環(huán)境溫濕度變化對光學(xué)系統(tǒng)與測量結(jié)果的影響，尤其適用于生物材料、光學(xué)晶體等對環(huán)境敏感的樣品檢測。防震臺采用空氣彈簧結(jié)構(gòu)，能有效過濾頻率在2Hz-100Hz范圍內(nèi)的振動干擾，確保設(shè)備在生產(chǎn)車間、實驗室等振動環(huán)境中仍能保持納米級測量精度。密封外殼設(shè)計減少灰塵與污染物進入光學(xué)系統(tǒng)，延長干涉物鏡、壓電掃描單元等核心部件的使用壽命。環(huán)境控制艙則可進一步實現(xiàn)溫度、濕度的精準(zhǔn)調(diào)控，滿足高精度科研實驗的環(huán)境要求。

ZYGO 3D光學(xué)輪廓儀環(huán)境適配與維護規(guī)范解析

維護校準(zhǔn)流程
用戶需遵循標(biāo)準(zhǔn)化維護流程以保障設(shè)備長期性能。每日需檢查光學(xué)鏡頭清潔度，使用專用鏡頭紙與清潔劑輕拭表面，避免灰塵影響干涉信號采集；每周執(zhí)行臺面平整度校準(zhǔn)，通過軟件“臺面校準(zhǔn)"功能修正臺面變形，確保測量基準(zhǔn)精度；每月檢查光源亮度穩(wěn)定性，確保LED燈珠照明強度一致，避免因光源衰減導(dǎo)致的測量誤差；每季度需聯(lián)系專業(yè)人員進行設(shè)備全面校準(zhǔn)，驗證垂直分辨率、重復(fù)性等核心參數(shù)是否符合標(biāo)準(zhǔn)，保障測量結(jié)果的可靠性。

模塊化配置升級
設(shè)備支持模塊化配置升級以適應(yīng)多樣化檢測需求。用戶可根據(jù)需求增加特殊波長光源（如紫外光、紅外光），擴展測量臺面尺寸（最大支持500mm×500mm），或集成自動化輸送軌道，實現(xiàn)工件的自動抓取、定位與輸送，提升大批量檢測效率。這些配置升級使設(shè)備在光學(xué)制造、半導(dǎo)體、材料科學(xué)等領(lǐng)域的應(yīng)用中更具靈活性，滿足從常規(guī)質(zhì)檢到科研分析的多樣化需求。