DM8000M 搭載的 Leica LAS（Leica Application Suite）軟件是其數(shù)據(jù)采集與分析的核心。該平臺(tái)支持實(shí)時(shí)圖像預(yù)覽、自動(dòng)拼圖、缺陷標(biāo)記、尺寸測(cè)量以及批量報(bào)告生成。軟件界面采用模塊化布局，用戶可根據(jù)實(shí)際需求啟用或隱藏相應(yīng)功能模塊，提升操作效率。徠卡DM8000M 顯微鏡軟件平臺(tái)與數(shù)據(jù)處理

關(guān)鍵功能

• 自動(dòng)掃描與拼圖：用戶設(shè)定掃描區(qū)域后，系統(tǒng)自動(dòng)控制載物臺(tái)進(jìn)行行進(jìn)、圖像采集并在后臺(tái)完成圖像拼接，生成完整的晶圓全景圖。

• 缺陷識(shí)別：內(nèi)置的機(jī)器視覺算法能夠?qū)Π祱?chǎng)或斜照?qǐng)D像進(jìn)行特征提取，自動(dòng)標(biāo)記顆粒、劃痕、孔洞等缺陷，并輸出缺陷尺寸、位置坐標(biāo)。

• 尺寸測(cè)量：支持線性、圓形、角度等多種測(cè)量方式，測(cè)量精度受限于光學(xué)分辨率與載物臺(tái)定位精度，理論誤差在 ±0.2?µm 以內(nèi)。

• 報(bào)告生成：檢測(cè)完成后，系統(tǒng)可一鍵生成 PDF 或 Word 報(bào)告，報(bào)告中包含全景圖、缺陷統(tǒng)計(jì)表、測(cè)量結(jié)果以及操作日志。

數(shù)據(jù)管理

所有采集的圖像與分析結(jié)果均存儲(chǔ)在本地硬盤或網(wǎng)絡(luò)存儲(chǔ)服務(wù)器上，支持基于時(shí)間、樣品編號(hào)或項(xiàng)目名稱的檢索。軟件提供了數(shù)據(jù)備份與恢復(fù)功能，防止因硬件故障導(dǎo)致的數(shù)據(jù)丟失。

與其他系統(tǒng)的兼容性

• 文件格式：支持導(dǎo)出為 TIFF、PNG、JPEG、LAS 原始文件以及 CSV、XLSX 等表格格式。

• 接口：提供 OPC-UA 與 RESTful API，便于與 MES、ERP 等工廠信息系統(tǒng)對(duì)接，實(shí)現(xiàn)檢測(cè)數(shù)據(jù)的自動(dòng)上傳與追溯。

使用建議

1. 使用：完成系統(tǒng)初始化后，進(jìn)行一次全景掃描測(cè)試，檢查拼圖質(zhì)量與缺陷識(shí)別準(zhǔn)確性。

2. 日常操作：在每批次檢測(cè)前，校準(zhǔn)光源強(qiáng)度與焦距，確保圖像一致性。

3. 數(shù)據(jù)歸檔：建議每月對(duì)歷史數(shù)據(jù)進(jìn)行壓縮歸檔，保持硬盤空間充足。

通過 Leica LAS 軟件平臺(tái)的強(qiáng)大功能，DM8000M 能夠?qū)崿F(xiàn)從圖像采集到數(shù)據(jù)分析、報(bào)告輸出的全流程自動(dòng)化，幫助用戶提升檢測(cè)效率并實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)的可追溯性。

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