ZYGO ZeGage Pro 技術(shù)：多原理支撐測量方案

產(chǎn)品簡介

ZYGO ZeGage Pro 技術(shù)：多原理支撐測量方案
ZeGage Pro 依托多種成熟光學(xué)測量技術(shù)，實現(xiàn)對不同表面特性樣品的精準(zhǔn)檢測。其核心技術(shù)包括相移干涉（PSI）與動態(tài)干涉（DI），相移干涉技術(shù)通過控制參考鏡的微小位移，采集多幅具有不同相位差的干涉圖像，再通過算法提取樣品表面高度信息，適用于超光滑表面測量，縱向分辨率可達到 0.1nm

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更新時間：2025-10-23

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激光干涉儀

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ZYGO ZeGage Pro 技術(shù)：多原理支撐測量方案

ZeGage Pro 依托多種成熟光學(xué)測量技術(shù)，實現(xiàn)對不同表面特性樣品的精準(zhǔn)檢測。其核心技術(shù)包括相移干涉（PSI）與動態(tài)干涉（DI），相移干涉技術(shù)通過控制參考鏡的微小位移，采集多幅具有不同相位差的干涉圖像，再通過算法提取樣品表面高度信息，適用于超光滑表面測量，縱向分辨率可達到 0.1nm；動態(tài)干涉技術(shù)則能在樣品輕微振動的環(huán)境下穩(wěn)定工作，通過實時捕捉干涉條紋變化，消除振動對測量結(jié)果的影響，適配生產(chǎn)線上的在線檢測場景。

設(shè)備還集成了共聚焦成像技術(shù)，當(dāng)測量粗糙表面樣品時，共聚焦技術(shù)可通過針孔濾波去除雜散光，清晰呈現(xiàn)樣品表面微觀結(jié)構(gòu)，搭配軟件中的 “3D 重建" 功能，能生成直觀的三維形貌圖，幫助用戶更清晰地觀察樣品表面紋理、劃痕等細節(jié)。核心光學(xué)部件選用低色散光學(xué)玻璃，經(jīng)過特殊的鍍膜處理，有效減少光線反射與折射損失，提升透光率，確保成像質(zhì)量穩(wěn)定。圖像傳感器采用高分辨率 CMOS 芯片，在 120 幀 / 秒的采集速度下，仍能保持 0.15μm 的橫向分辨率，可清晰捕捉樣品表面微小特征。

為適應(yīng)不同環(huán)境，設(shè)備搭載了環(huán)境補償系統(tǒng)，能實時監(jiān)測溫度、濕度變化，并自動調(diào)整測量參數(shù)，即使在溫度波動 ±2℃、濕度 40%-60% 的普通實驗室環(huán)境中，也能保證測量結(jié)果的一致性。此外，軟件內(nèi)置的 “自動校準(zhǔn)" 功能，定期提醒用戶進行系統(tǒng)校準(zhǔn)，校準(zhǔn)過程無需專業(yè)人員操作，按照提示步驟即可完成，進一步降低使用門檻。