在光學(xué)元件制造領(lǐng)域,透鏡、棱鏡、反射鏡等產(chǎn)品的表面質(zhì)量直接決定了光學(xué)系統(tǒng)的成像效果與性能。哪怕是微米級的面型誤差或細微劃痕,都可能導(dǎo)致光線折射、反射異常,影響最終使用體驗。Sensofar 新型共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀 S neox,憑借對微觀表面的精準(zhǔn)捕捉能力與適配光學(xué)元件檢測的特性,成為光學(xué)元件制造過程中質(zhì)量控制的關(guān)鍵工具,為各類光學(xué)元件的表面檢測提供可靠支持。

從光學(xué)元件的檢測核心需求來看,面型誤差、表面粗糙度、曲率精度是三大關(guān)鍵指標(biāo),且均需達到納米或微米級別的檢測精度。S neox 搭載的 3D 共聚焦白光干涉技術(shù),恰好能滿足這一嚴(yán)苛要求。其垂直分辨率達到納米級別,可清晰識別光學(xué)元件表面幾納米的高低起伏,精準(zhǔn)測量面型誤差。以凸透鏡制造為例,在研磨拋光后,通過 S neox 對透鏡表面進行全面掃描,能獲取完整的 3D 輪廓數(shù)據(jù),計算出透鏡的面型偏差是否符合設(shè)計標(biāo)準(zhǔn),避免因面型不精準(zhǔn)導(dǎo)致的成像模糊、畸變等問題。
針對不同類型的光學(xué)元件,S neox 的檢測范圍與適配性表現(xiàn)突出。對于小尺寸的微型透鏡(如手機攝像頭中的鏡頭),其最小檢測區(qū)域可精確至幾微米,能聚焦透鏡中心區(qū)域的細微結(jié)構(gòu),測量邊緣的曲率過渡是否平滑;對于大尺寸的望遠鏡反射鏡,檢測范圍可擴展至數(shù)毫米,實現(xiàn)對反射鏡表面的全覆蓋掃描,確保整體面型均勻。同時,設(shè)備配備的多層鍍膜精密鏡頭組,能減少光線在檢測過程中的反射與散射干擾,尤其適合透明或半透明光學(xué)元件(如石英棱鏡)的檢測,可清晰呈現(xiàn)元件內(nèi)部是否存在氣泡、雜質(zhì),以及表面劃痕的深度與長度,避免傳統(tǒng)檢測方式中因光線穿透問題導(dǎo)致的缺陷遺漏。
在表面粗糙度檢測方面,S neox 內(nèi)置的專業(yè)分析算法可精準(zhǔn)計算 Ra(算術(shù)平均偏差)、Rq(均方根偏差)等參數(shù),且數(shù)據(jù)重復(fù)性優(yōu)異。光學(xué)元件的表面粗糙度直接影響光線的散射程度,例如激光鏡片若表面粗糙度過高,會導(dǎo)致激光能量損耗增加,影響激光傳輸效率。通過 S neox 對鏡片表面進行掃描,能快速獲取粗糙度數(shù)據(jù),判斷拋光工藝是否達標(biāo),幫助制造企業(yè)優(yōu)化研磨材料與拋光時間,提升產(chǎn)品一致性。
從用材與設(shè)備穩(wěn)定性來看,S neox 也適配光學(xué)元件制造的潔凈環(huán)境需求。機身框架采用高強度鋁合金,重量輕且抗腐蝕,可適應(yīng)潔凈車間定期的無塵清潔,不易因環(huán)境濕度、清潔劑殘留出現(xiàn)部件老化;檢測平臺選用不銹鋼材質(zhì),經(jīng)過精細打磨,平整度高,能穩(wěn)定承載各類光學(xué)元件,避免因平臺不平整導(dǎo)致的檢測誤差。同時,設(shè)備的抗振動設(shè)計可減少車間內(nèi)其他加工設(shè)備(如研磨機、切割機)運行時產(chǎn)生的振動干擾,確保在多設(shè)備協(xié)同工作的環(huán)境下,檢測數(shù)據(jù)依然穩(wěn)定可靠。
在實際操作中,S neox 針對光學(xué)元件的脆弱特性(易刮花、易破損)設(shè)計了便捷且安全的檢測流程。以石英棱鏡表面缺陷檢測為例,使用說明如下:首先,在潔凈工作臺上,將棱鏡放置在 S neox 檢測平臺的專用軟質(zhì)墊片上(避免金屬臺面直接接觸棱鏡表面造成劃痕),通過微調(diào)平臺夾具輕輕固定棱鏡,確保棱鏡在檢測過程中不位移,且夾具壓力適中不導(dǎo)致棱鏡變形;接著,打開配套檢測軟件,在 “光學(xué)元件檢測模板" 中選擇 “棱鏡檢測" 模式,根據(jù)棱鏡的尺寸(如 10mm×10mm×5mm)設(shè)置檢測區(qū)域(通常覆蓋棱鏡的兩個光學(xué)面),并調(diào)整掃描分辨率(針對表面缺陷檢測,可選擇較高分辨率以捕捉細微劃痕);隨后,點擊 “開始檢測",設(shè)備電動平移臺以微米級精度帶動棱鏡移動,共聚焦光學(xué)系統(tǒng)同步采集表面光學(xué)信號,實時生成三維輪廓圖像,過程中軟件會自動標(biāo)記疑似缺陷區(qū)域(如劃痕、氣泡);檢測完成后,軟件自動生成檢測報告,包含面型誤差值、表面粗糙度數(shù)據(jù)、缺陷位置與尺寸,用戶可通過 15 英寸高清觸控屏放大查看缺陷細節(jié),也可將報告導(dǎo)出為 PDF 格式,附在產(chǎn)品質(zhì)檢文件中;最后,檢測結(jié)束后,用無塵布蘸取專用光學(xué)清潔劑輕輕擦拭棱鏡表面與檢測平臺,將棱鏡放入專用收納盒,關(guān)閉設(shè)備電源,完成檢測流程。
S neox 的參數(shù)配置進一步貼合光學(xué)元件檢測需求:檢測技術(shù)為 3D 共聚焦白光干涉技術(shù),保障納米級檢測精度;檢測平臺移動精度達微米級,滿足光學(xué)元件微小區(qū)域的精準(zhǔn)定位;軟件中的 “曲率計算" 模塊,可自動計算透鏡、反射鏡的曲率半徑與焦距,無需人工手動測量,減少人為誤差。此外,設(shè)備支持多種光學(xué)元件的檢測模板存儲,如透鏡、棱鏡、濾光片等,下次檢測同類型產(chǎn)品時可直接調(diào)用模板,縮短參數(shù)設(shè)置時間,提升檢測效率。
隨著光學(xué)元件向高精度、微型化方向發(fā)展(如 AR/VR 設(shè)備中的微型光學(xué)元件),對檢測設(shè)備的要求不斷提升。Sensofar S neox 共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀,以精準(zhǔn)的檢測能力、靈活的適配性與安全的操作流程,為光學(xué)元件制造企業(yè)提供全流程質(zhì)量控制支持,幫助企業(yè)提升產(chǎn)品合格率,確保光學(xué)元件滿足各類光學(xué)系統(tǒng)的使用需求。