ZYGO光學(xué)輪廓儀高精度、高可靠性的光學(xué)測(cè)量

ZYGO Nexview™ NX2 是一款專(zhuān)為高精度測(cè)量需求設(shè)計(jì)的光學(xué)輪廓儀，適用于多種工業(yè)和科研場(chǎng)景。其核心優(yōu)勢(shì)在于提供高精度、高靈活性和自動(dòng)化能力，適用于從半導(dǎo)體、汽車(chē)制造到科研實(shí)驗(yàn)室的多種需求。

在性能方面，NX2 采用非接觸式測(cè)量技術(shù)，可在不同放大倍率下實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量，適用于多種材料和表面類(lèi)型，包括光滑、粗糙、平面、斜坡等。其高靈敏度傳感器和高速測(cè)量能力，使其在復(fù)雜樣品中也能快速完成測(cè)量。

設(shè)備的機(jī)械結(jié)構(gòu)采用高強(qiáng)度材料，確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行，減少因機(jī)械變形帶來(lái)的誤差。其軟件系統(tǒng)支持多種分析功能，支持?jǐn)?shù)據(jù)導(dǎo)出和可視化，便于用戶進(jìn)行進(jìn)一步分析。

設(shè)備的機(jī)械結(jié)構(gòu)采用高強(qiáng)度材料，確保長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行，減少因機(jī)械變形帶來(lái)的誤差。其軟件系統(tǒng)支持多種分析功能，支持?jǐn)?shù)據(jù)導(dǎo)出和可視化，便于用戶進(jìn)行進(jìn)一步分析。

在性能方面，NX2 采用非接觸式測(cè)量技術(shù)，可在不同放大倍率下實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)精度，適用于多種材料和表面類(lèi)型。其自動(dòng)化功能，如自動(dòng)對(duì)焦和定位，減少了操作員的參與，提高了測(cè)試效率。此外，設(shè)備具備抗振動(dòng)技術(shù)（SureScan™），可在振動(dòng)環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行，適用于工廠等復(fù)雜環(huán)境。

設(shè)備的軟件系統(tǒng)（Mx™）支持?jǐn)?shù)據(jù)處理和分析，支持多種標(biāo)準(zhǔn)（如ISO 25178和ISO 4287）的符合性驗(yàn)證。其操作簡(jiǎn)便，培訓(xùn)門(mén)檻低，適合不同技術(shù)水平的用戶使用。

ZYGO光學(xué)輪廓儀高精度、高可靠性的光學(xué)測(cè)量