在精密檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，用材品質(zhì)與性能穩(wěn)定性直接決定檢測(cè)數(shù)據(jù)的可靠性與設(shè)備的使用壽命。ZYGO 3D 光學(xué)輪廓儀 ZeGage Pro 從核心部件到外部結(jié)構(gòu)，均選用適配高精度檢測(cè)需求的優(yōu)質(zhì)材料，搭配成熟的光學(xué)與機(jī)械技術(shù)，為跨領(lǐng)域檢測(cè)提供穩(wěn)定、精準(zhǔn)的支持，成為科研機(jī)構(gòu)與企業(yè)實(shí)驗(yàn)室的可靠選擇。
從用材細(xì)節(jié)來(lái)看，ZeGage Pro 的核心光學(xué)部件采用高純度熔融石英玻璃。這種玻璃具備優(yōu)異的透光性，在可見(jiàn)光與近紅外波段的透光率超過(guò) 90%，能減少光線(xiàn)在傳播過(guò)程中的損耗，確保檢測(cè)時(shí)光學(xué)信號(hào)的準(zhǔn)確傳遞；同時(shí)，其熱膨脹系數(shù)低，在環(huán)境溫度變化時(shí)不易發(fā)生形變，避免因光學(xué)元件變形影響檢測(cè)精度。設(shè)備的鏡頭組采用多層增透膜技術(shù)，膜層材質(zhì)為氧化硅與氟化鎂的復(fù)合涂層，可有效降低光線(xiàn)反射，進(jìn)一步提升光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量，讓樣品表面的微小輪廓細(xì)節(jié)清晰呈現(xiàn)。
機(jī)械結(jié)構(gòu)方面，ZeGage Pro 的檢測(cè)平臺(tái)底座選用鑄鐵材質(zhì)，鑄鐵具備良好的剛性與減震性能，能減少外部環(huán)境振動(dòng)對(duì)檢測(cè)平臺(tái)的影響，確保掃描過(guò)程中平臺(tái)的穩(wěn)定性；平臺(tái)臺(tái)面為 304 不銹鋼，表面經(jīng)過(guò)精密研磨處理，平整度誤差控制在微米級(jí)別，可穩(wěn)定承載不同重量的樣品，同時(shí)不銹鋼材質(zhì)耐磨損、抗腐蝕，長(zhǎng)期使用后仍能保持較好的表面狀態(tài)，減少臺(tái)面磨損對(duì)檢測(cè)結(jié)果的干擾。設(shè)備的平移臺(tái)驅(qū)動(dòng)部件采用精密滾珠絲杠，絲杠材質(zhì)為高強(qiáng)度合金鋼，經(jīng)過(guò)熱處理強(qiáng)化，具備較高的硬度與耐磨性，配合伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，能實(shí)現(xiàn)微米級(jí)別的移動(dòng)精度，確保檢測(cè)位置的準(zhǔn)確性。
性能穩(wěn)定性是 ZeGage Pro 的突出優(yōu)勢(shì)。設(shè)備搭載閉環(huán)反饋控制系統(tǒng)，在掃描過(guò)程中，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)平移臺(tái)的位置與光學(xué)信號(hào)的強(qiáng)度，若出現(xiàn)微小偏差，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)調(diào)整參數(shù)，確保檢測(cè)過(guò)程的穩(wěn)定性。例如在長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)檢測(cè)（如 8 小時(shí)批量檢測(cè)電子元件）時(shí)，設(shè)備的溫度漂移量較小，垂直檢測(cè)精度的變化幅度控制在納米級(jí)別，保證同批次樣品檢測(cè)數(shù)據(jù)的一致性。此外，設(shè)備具備環(huán)境適應(yīng)性，在溫度 15℃-30℃、濕度 30%-70% 的常規(guī)實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下，無(wú)需額外恒溫恒濕設(shè)備，即可正常工作，減少對(duì)使用環(huán)境的限制。
在跨領(lǐng)域應(yīng)用中，ZeGage Pro 的表現(xiàn)尤為全面。在光學(xué)元件制造領(lǐng)域，可用于檢測(cè)透鏡的面型誤差與曲率半徑。操作時(shí)，將透鏡固定在專(zhuān)用光學(xué)夾具上，確保透鏡光軸與檢測(cè)系統(tǒng)軸線(xiàn)對(duì)齊；打開(kāi) MXP 軟件，選擇 “光學(xué)元件檢測(cè)" 模塊，設(shè)置掃描范圍為透鏡有效口徑（如 20mm）、掃描分辨率為 0.5μm；啟動(dòng)掃描后，設(shè)備會(huì)自動(dòng)采集透鏡表面的光學(xué)數(shù)據(jù)，軟件通過(guò)算法計(jì)算出面型誤差 PV 值與曲率半徑，生成 3D 面型圖，若誤差超出設(shè)定范圍（如 PV 值＞500nm），軟件會(huì)自動(dòng)標(biāo)記偏差區(qū)域，幫助操作人員調(diào)整加工工藝。
在汽車(chē)零部件檢測(cè)領(lǐng)域，ZeGage Pro 可用于檢測(cè)發(fā)動(dòng)機(jī)氣門(mén)的表面粗糙度與磨損程度。將氣門(mén)固定在旋轉(zhuǎn)式夾具上（確保檢測(cè)過(guò)程中氣門(mén)勻速轉(zhuǎn)動(dòng)）；在軟件中設(shè)置 “圓柱面掃描" 模式，掃描路徑覆蓋氣門(mén)密封面與桿部；檢測(cè)完成后，軟件生成氣門(mén)表面的粗糙度參數(shù)（如 Ra、Rz）與磨損深度數(shù)據(jù)，若密封面出現(xiàn)磨損深度超過(guò) 10μm 的區(qū)域，會(huì)自動(dòng)生成磨損分析報(bào)告，為氣門(mén)的質(zhì)量評(píng)估與更換提供依據(jù)。
ZYGO ZeGage Pro 用材與性能相關(guān)參數(shù)表：
無(wú)論是光學(xué)元件的高精度面型檢測(cè)，還是汽車(chē)零部件的表面質(zhì)量評(píng)估，ZYGO ZeGage Pro 都能憑借優(yōu)質(zhì)的用材與穩(wěn)定的性能，提供準(zhǔn)確、可靠的檢測(cè)數(shù)據(jù)，幫助用戶(hù)把控產(chǎn)品質(zhì)量，推動(dòng)研發(fā)與生產(chǎn)工作的高效開(kāi)展。
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