ZeGage Pro激光干涉儀的技術內核與用材

ZYGO ZeGage Pro 是一款非接觸式的3D光學輪廓儀，致力于為科研與工業(yè)領域提供表面形貌的測量方案。它基于相干掃描干涉技術（CSI），能夠對從超光滑到微粗糙的各種表面進行三維形貌測量和二維輪廓分析。

在產品細節(jié)上，ZeGage Pro的設計緊湊，集成了光源、干涉物鏡、精密壓電掃描器和高分辨率相機于一體。其外殼采用工業(yè)級的鋁合金材料，確保了儀器在長時間運行中的穩(wěn)定性和抗環(huán)境干擾能力。儀器正面配備了直觀的觸摸屏控制界面，使用戶能快速進行基礎操作和實時觀察。

該儀器的性能體現(xiàn)在其測量能力上。它能夠以納米級垂直分辨率捕捉表面細節(jié)，并提供大范圍的掃描區(qū)域。其重復性測量結果的一致性，有助于用戶進行可靠的對比和趨勢分析。無論是透明材料、金屬還是高反光表面，ZeGage Pro都能應對常見的測量挑戰(zhàn)。

ZeGage Pro的核心優(yōu)勢源于其內在的技術和扎實的制造用材。它采用了經過驗證的相干掃描干涉法（CSI），這是一種通過分析樣品與參考鏡之間產生的干涉信號來重建表面三維形貌的技術，適用于多種表面的精細測量。

在光學系統(tǒng)方面，ZeGage Pro配備了高質量的LED光源，不僅提供了穩(wěn)定的照明，還具有長的使用壽命，降低了后續(xù)的維護成本。其干涉物鏡系列經過精心設計和校準，確保了測量的準確傳遞。鏡片采用低膨脹系數(shù)的光學玻璃，減少了由熱波動引起的測量偏差。

儀器的機械結構是穩(wěn)定性的基石。核心掃描單元采用低熱膨脹材料和高剛性結構設計，有效隔離了外界振動和溫度變化帶來的影響。精密壓電陶瓷（PZT）驅動器負責完成納米級的垂直掃描，其線性和重復性為高分辨率測量提供了保障。

樣品臺同樣體現(xiàn)了對質量的關注。臺面平整度高，由耐磨材料制成，電動驅動版本采用精密的絲杠和電機，確保了定位的準確性和重復性。

型號選擇：

ZeGage Pro通常不是一個單一型號，而是作為一個產品平臺，用戶可以根據(jù)需求選配：

• 不同行程的電動平臺（如100mm或200mm）。

  
  

• 不同放大倍率的干涉物鏡套件。

  
  

• 軟件功能模塊（如高級分析包）。

  
  

這種模塊化的設計意味著用戶可以獲得一款貼合自身應用和預算需求的儀器。無論是專注于研發(fā)還是用于生產線的質量控制，都有相應的配置可供選擇。

了解其技術內核和扎實的用材，有助于用戶理解ZeGage Pro為何能成為實驗室或生產線上一款值得信賴的測量工具。它的設計著眼于長期穩(wěn)定的性能輸出。

ZeGage Pro激光干涉儀的技術內核與用材