在半導(dǎo)體材料、電子器件的性能測(cè)試中，常需要在溫度變化環(huán)境下進(jìn)行電學(xué)特性測(cè)量。Linkam HFS600E-PB4 冷熱探針臺(tái)憑借集成的溫控與探針系統(tǒng)，為這類實(shí)驗(yàn)提供了一體化解決方案，成為實(shí)驗(yàn)室的實(shí)用設(shè)備。
產(chǎn)品細(xì)節(jié)：集成設(shè)計(jì)兼顧多功能需求
HFS600E-PB4 采用模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，主體由溫控樣品臺(tái)、探針調(diào)節(jié)系統(tǒng)和觀察裝置組成。樣品臺(tái)臺(tái)面為鍍金銅材質(zhì)，直徑 30mm，表面平整度良好，既能保證良好的導(dǎo)熱性，又可減少樣品與臺(tái)面的接觸電阻。臺(tái)面四周設(shè)有可調(diào)擋塊，可固定不同尺寸的樣品，防止實(shí)驗(yàn)中移位。
探針系統(tǒng)包含 4 個(gè)獨(dú)立的探針臂，每個(gè)探針臂均可在 X、Y、Z 三個(gè)方向精細(xì)調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)精度達(dá)微米級(jí)。探針采用鎢絲材質(zhì)，直徑可選 5μm 或 10μm，滿足不同接觸面積的測(cè)試需求。探針臂與樣品臺(tái)之間的絕緣性能良好，避免測(cè)試過(guò)程中出現(xiàn)漏電干擾。
設(shè)備配備高清光學(xué)顯微鏡，放大倍數(shù)可在 50-500 倍之間調(diào)節(jié)，配合 LED 照明系統(tǒng)，能清晰觀察探針與樣品的接觸狀態(tài)。顯微鏡與探針系統(tǒng)同軸設(shè)計(jì)，確保觀察視野與測(cè)試點(diǎn)精準(zhǔn)對(duì)應(yīng)?？刂泼姘寮蓽囟日{(diào)節(jié)和探針定位旋鈕，布局緊湊，操作時(shí)無(wú)需頻繁移動(dòng)位置。
產(chǎn)品性能：溫控與電學(xué)測(cè)試的穩(wěn)定結(jié)合
HFS600E-PB4 的溫度控制范圍為 - 196℃至 600℃，升溫速率 0.1-100℃/min，降溫速率 0.1-50℃/min，能覆蓋多數(shù)電子材料的測(cè)試溫度需求。在 - 50℃至 300℃區(qū)間內(nèi)，溫度穩(wěn)定性較好，波動(dòng)幅度較小，為電學(xué)參數(shù)測(cè)量提供穩(wěn)定的溫度環(huán)境。
探針系統(tǒng)的接觸電阻較低，且重復(fù)性較好，多次接觸同一測(cè)試點(diǎn)時(shí)，電阻偏差較小。探針臂的剛性適中，既能保證與樣品的良好接觸，又不會(huì)因壓力過(guò)大損傷樣品表面。設(shè)備的電學(xué)測(cè)試通道支持直流至 100MHz 的信號(hào)傳輸，可滿足電阻、電容、伏安特性等多種參數(shù)的測(cè)量。
設(shè)備運(yùn)行時(shí)的電磁干擾較小，通過(guò)內(nèi)部屏蔽設(shè)計(jì)，減少了溫控系統(tǒng)對(duì)電學(xué)測(cè)試信號(hào)的影響，測(cè)試數(shù)據(jù)的信噪比處于較好水平。樣品臺(tái)與探針系統(tǒng)的位置精度較高，多次裝卸樣品后，探針仍能較準(zhǔn)確地定位到預(yù)設(shè)測(cè)試點(diǎn)。
用材、參數(shù)與用途
設(shè)備關(guān)鍵部件選用適配高低溫環(huán)境的材料：樣品臺(tái)采用無(wú)氧銅鍍金，兼具導(dǎo)熱性與抗氧化性；探針臂為鈦合金材質(zhì)，強(qiáng)度高且熱膨脹系數(shù)??；絕緣部件使用聚四氟乙烯，在寬溫范圍內(nèi)保持絕緣性能穩(wěn)定。
部分參數(shù)如下：
該設(shè)備主要應(yīng)用于半導(dǎo)體器件測(cè)試、薄膜材料電學(xué)特性研究、傳感器性能評(píng)估等領(lǐng)域?？蓽y(cè)量晶體管在不同溫度下的開關(guān)特性，分析柔性電子材料的溫度依賴性，評(píng)估溫度對(duì)傳感器靈敏度的影響等。
使用說(shuō)明
使用前需檢查設(shè)備接地是否良好，避免靜電損壞樣品。將樣品固定在樣品臺(tái)上，通過(guò)顯微鏡觀察，調(diào)節(jié)樣品臺(tái)位置使測(cè)試點(diǎn)位于視野中心。安裝合適規(guī)格的探針，通過(guò)微調(diào)旋鈕將探針緩慢降至與樣品表面接觸，觀察電學(xué)測(cè)試儀的接觸信號(hào)確認(rèn)接觸良好。
根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求設(shè)置溫度參數(shù)，選擇升溫、降溫或恒溫模式。待溫度穩(wěn)定后，連接外部電學(xué)測(cè)試儀器（如萬(wàn)用表、示波器等），進(jìn)行電學(xué)參數(shù)測(cè)量。測(cè)試過(guò)程中，避免觸碰探針臂，防止接觸點(diǎn)偏移。
實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，先將溫度調(diào)至室溫，關(guān)閉溫控系統(tǒng)，再移除探針和樣品。用專用清潔劑清潔樣品臺(tái)和探針，去除殘留雜質(zhì)。定期檢查探針磨損情況，發(fā)現(xiàn)變形或磨損嚴(yán)重時(shí)及時(shí)更換，每月校準(zhǔn)一次溫度顯示值，確保測(cè)試準(zhǔn)確性。
Linkam HFS600E-PB4 冷熱探針臺(tái)以其集成化設(shè)計(jì)、穩(wěn)定的溫控與電學(xué)測(cè)試性能，為溫度相關(guān)的電學(xué)實(shí)驗(yàn)提供了可靠支持，是電子材料與器件研究的實(shí)用工具。
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