布魯克ContourX-200三維光學(xué)輪廓儀的應(yīng)用范圍,跨越了從實(shí)驗(yàn)室前沿研究到工業(yè)生產(chǎn)線的多個環(huán)節(jié)。其靈活性和適應(yīng)性,使其成為多種行業(yè)進(jìn)行表面質(zhì)量監(jiān)控和材料特性研究的工具之一。
在半導(dǎo)體和微電子制造領(lǐng)域,ContourX-200可用于測量硅晶圓上的薄膜厚度、光刻膠圖形的臺階高度、以及CMP(化學(xué)機(jī)械拋光)后的表面平整度。其高倍物鏡能夠清晰地分辨微米級別的結(jié)構(gòu),為工藝參數(shù)的優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支持。
在精密制造業(yè)中,它常被用于檢測刀具刃口磨損、評估注塑或壓鑄模具的表面磨損情況、測量精密機(jī)械零件的平面度與粗糙度。通過定期檢測,可以建立產(chǎn)品的磨損檔案,預(yù)測部件壽命,實(shí)施預(yù)防性維護(hù)。
在材料科學(xué)研究中,科研人員利用它來表征新材料(如復(fù)合材料、金屬合金、高分子薄膜)的表面特性,分析涂層或鍍層的均勻性與厚度,觀察材料在疲勞測試或腐蝕試驗(yàn)后的表面變化。其非接觸測量的特點(diǎn),尤其適合對涂層等脆弱表面進(jìn)行反復(fù)測量而不引入損傷。
在學(xué)術(shù)教育領(lǐng)域,其相對直觀的操作界面和強(qiáng)大的可視化功能,使其成為幫助學(xué)生理解表面計量學(xué)、材料學(xué)和光學(xué)原理的教學(xué)演示設(shè)備。
型號配置說明:
ContourX-200是一個基礎(chǔ)型號,為用戶提供了核心的干涉測量功能。布魯克通常還提供不同的配置選項(xiàng),例如不同放大倍率的物鏡套件,以適應(yīng)從大視野普查到小細(xì)節(jié)高分辨率測量的不同場景。用戶可以根據(jù)自身主要的測量需求(如常規(guī)的粗糙度測量,或是特定的微結(jié)構(gòu)測量)來選擇合適的物鏡組合。
維護(hù)與注意事項(xiàng):
為了保持儀器的測量性能,建議將其放置在潔凈、干燥、無強(qiáng)氣流和振動干擾的環(huán)境中。光學(xué)鏡頭和樣品臺應(yīng)保持清潔,可用吹氣球吹去浮塵或用專用的無塵布和鏡頭清潔劑小心擦拭。定期進(jìn)行性能驗(yàn)證和校準(zhǔn),是保證長期測量數(shù)據(jù)一致性的建議做法。操作人員經(jīng)過基本培訓(xùn)后,即可上手完成常規(guī)測量任務(wù)。
綜上所述,布魯克ContourX-200三維光學(xué)輪廓儀以其技術(shù)的實(shí)用性和應(yīng)用的廣泛性,為需要表面三維測量數(shù)據(jù)的用戶提供了一個可供考慮的選項(xiàng)。