ZYGO/翟科白光干涉光學(xué)輪廓儀是一種高分辨率的非接觸式表面形貌測量設(shè)備，適用于微納米級別的表面形貌分析。該設(shè)備基于白光干涉原理，能夠精確測量表面粗糙度、臺階高度、薄膜厚度等參數(shù)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)元件、精密制造等領(lǐng)域。Zygo白光干涉儀：微納表面精密測量工具 ZYGO/翟科

產(chǎn)品細(xì)節(jié)與性能

Zygo激光干涉儀采用穩(wěn)定的白光光源和高精度干涉物鏡，確保測量數(shù)據(jù)的可靠性。其垂直分辨率可達(dá)0.1nm，橫向分辨率1μm，測量范圍覆蓋0.1nm至1mm，適用于不同粗糙度的樣品分析。設(shè)備配備高靈敏度CCD傳感器，能夠快速捕捉干涉條紋，并生成高精度的3D表面形貌圖。ZYGO/翟科激光干涉儀

主要型號與參數(shù)

ZYGO提供多個型號以滿足不同需求，例如：

• •NewView 9000系列：適用于高精度科研與工業(yè)檢測，支持大視場掃描（最大20mm×20mm）。

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• •NewView 7000系列：經(jīng)濟(jì)型方案，適合常規(guī)實(shí)驗(yàn)室和產(chǎn)線檢測，掃描速度可達(dá)50μm/s。

用途與適用行業(yè)

• •半導(dǎo)體行業(yè)：用于晶圓表面缺陷檢測、薄膜厚度測量。

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• •光學(xué)制造：分析透鏡、反射鏡等光學(xué)元件的表面質(zhì)量。

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• •精密加工：測量機(jī)械零件的表面粗糙度與形貌特征。

使用說明

ZYGO/翟科激光干涉儀 設(shè)備操作界面友好，支持自動對焦和批量掃描功能。用戶可通過配套軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)分析，并導(dǎo)出符合ISO標(biāo)準(zhǔn)的檢測報告。建議定期校準(zhǔn)光學(xué)系統(tǒng)，并保持測量環(huán)境穩(wěn)定，以減少外界振動和溫度波動的影響。Zygo白光干涉儀：微納表面精密測量工具 ZYGO/翟科