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納米尺度分析：ZEM系列臺式電鏡介紹

產(chǎn)品簡介

納米尺度分析：ZEM系列臺式電鏡介紹
澤攸電鏡的JS系列臺階儀是進行納米尺度表面輪廓和膜厚測量的工具。它與掃描電鏡技術(shù)相結(jié)合，可提供多維度的樣品信息。

產(chǎn)品型號：
更新時間：2025-08-20
廠商性質(zhì)：代理商
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澤攸電鏡的JS系列臺階儀是進行納米尺度表面輪廓和膜厚測量的工具。它與掃描電鏡技術(shù)相結(jié)合，可提供多維度的樣品信息。納米尺度分析：ZEM系列臺式電鏡介紹

產(chǎn)品細節(jié)與性能：
JS系列采用壓電陶瓷驅(qū)動和柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)了探針的平穩(wěn)掃描。測量力可調(diào)，以適應不同硬度樣品的測量需求，避免對樣品造成損傷。

核心參數(shù)（JS 400例）：

  • 掃描范圍：100μm × 100μm × 25μm (XYZ)

  • 垂直分辨率：0.1nm

  • 掃描速度：0.01 - 1mm/s

  • 樣品尺寸：直徑≤ 6英寸

用途：
主要用于半導體制造中的膜厚測量、MEMS器件表面形貌表征、材料表面的粗糙度分析等。

使用簡述：
選擇并安裝合適的探針，將樣品固定在樣品臺上。通過軟件設定掃描路徑和參數(shù)，系統(tǒng)即可自動完成測量并生成三維輪廓圖。納米尺度分析：ZEM系列臺式電鏡介


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