ZYGO白光干涉光學(xué)輪廓儀采用非接觸式測量技術(shù)，適用于高精度表面形貌分析，廣泛應(yīng)用于科研、半導(dǎo)體和精密制造領(lǐng)域。ZYGO白光干涉儀：微納表面測量工具 zygo 白光干涉光學(xué)輪廓

產(chǎn)品細(xì)節(jié)與性能

• 光學(xué)系統(tǒng)：采用高穩(wěn)定性干涉光學(xué)設(shè)計，搭配低噪聲CCD傳感器，確保測量數(shù)據(jù)穩(wěn)定。

• 掃描能力：垂直分辨率可達(dá)0.1nm，橫向分辨率優(yōu)于1μm，適應(yīng)微米至納米級測量需求。

• 軟件功能：配備專業(yè)分析軟件，支持3D形貌重建、粗糙度分析、臺階高度測量等功能。

用材與結(jié)構(gòu)

• 機(jī)身采用高剛性鋁合金框架，減少環(huán)境振動影響。

• 光學(xué)元件鍍有防反射膜，提高信噪比，適應(yīng)高反光或低反射率樣品。

主要型號

• NewView™ 9000：適用于高精度科研及工業(yè)檢測。

• NewView™ 7000：經(jīng)濟(jì)型，適合常規(guī)實(shí)驗(yàn)室使用。

典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體晶圓表面缺陷檢測

• 光學(xué)元件面形測量

• MEMS器件三維形貌分析

使用說明

1. 開機(jī)預(yù)熱15分鐘，確保光源穩(wěn)定。

2. 選擇合適物鏡，調(diào)整樣品臺焦距。

3. 啟動自動掃描，軟件自動處理數(shù)據(jù)并生成報告。

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