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產品簡介
隨著半導體、光刻、星載成像系統(tǒng)、消費電子、國防等行業(yè)的飛速發(fā)展，對計量應用的精度、穩(wěn)定性和效率提出了的嚴苛要求。傳統(tǒng)干涉儀在面對這些高難度場景時，往往在噪聲控制、對焦精度、變焦穩(wěn)定性等方面美國ZYGO共聚焦激光干涉儀存在不足。為了滿足行業(yè)需求，美國 ZYGO 公司于 2024 年推出了 Qualifire™激光干涉儀，旨在為挑戰(zhàn)性的計量任務提供的解決方案。
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飛點模塊（Flying Spot Module）：這一模塊是 Qualifire 的核心創(chuàng)新之一，采用了全新的環(huán)紋抑制技術。該技術巧妙地結合了 ZYGO 的 RoF（Ring of Fire）技術和環(huán)紋抑制功能（CARS）技術，形成了一套強大的降噪解決方案。它能夠精準消除腔體中的相干空間噪點以及令人困擾的相干牛眼紋，為高精度測量營造了高信噪比的環(huán)境，極大地提升了測量數據的可靠性。
平面腔自動對焦功能：摒棄了傳統(tǒng)的手動或基于強度的焦點調整方式，采用基于相位的自動對焦方法。這種方法無需額外的調整工具，就能快速且精確地實現對焦，不僅減少了人為操作帶來的誤差，還顯著提高了測量的效率，讓操作人員能夠更專注于測量本身。
穩(wěn)定變焦功能：在從 1 倍到 3 倍的變焦過程中，Qualifire 實現了焦點和圖像中心不發(fā)生偏移的突破。這一特性不僅改善了儀器傳遞函數（ITF），使得中高頻率特征的量化變得更加容易，還保證了在不同變焦倍數下測量數據的連貫性和一致性，為多維度分析提供了可靠的數據基礎。
智能附件功能：儀器能夠自動識別安裝的 “智能附件"，并根據附件的特性自動設置橫向分辨率。對于智能球面參考鏡 TS，它還能自動設置工件的曲率半徑，并精準減去系統(tǒng)誤差，進一步提升了計量能力。這種智能化的設計減少了人工設置的繁瑣步驟，降低了操作失誤的可能性。
結構設計優(yōu)化：部分型號的重量不到 50 磅（23 千克），緊湊輕便的設計使其便于移動和安裝，能適應不同的工作場地。內置移相器（PMR）的設計，有效降低了移動時對內部 PZT 組件的損壞風險，延長了儀器的使用壽命。同時，光學支腳采用密封設計，減少了灰塵積聚，降低了維護成本，保證了儀器長期穩(wěn)定的運行。
半導體光刻領域：在半導體芯片制造的光刻環(huán)節(jié)，對光學元件的精度要求。Qualifire 憑借其高精度的測量能力和強大的降噪功能，能夠精準測量光刻鏡頭等關鍵光學元件的表面形狀和波前誤差，為光刻設備的高性能運行提供有力保障，進而提高芯片的制造精度和良品率。
星載成像系統(tǒng)制造：星載成像系統(tǒng)需要在的太空環(huán)境下工作，對光學元件的穩(wěn)定性和精度要求苛刻。Qualifire 的穩(wěn)定變焦功能和智能附件功能，能夠滿足對星載成像系統(tǒng)光學元件的高精度測量需求，確保其在太空環(huán)境中正常工作。
國防光學設備生產：國防領域的光學設備，如偵察衛(wèi)星的光學鏡頭、的制導光學系統(tǒng)等，對精度和可靠性要求。Qualifire 能夠對這些光學設備的核心元件進行嚴格檢測，保障其在復雜的戰(zhàn)場環(huán)境中發(fā)揮穩(wěn)定的性能。
消費電子研發(fā)：在手機攝像頭、虛擬現實設備的光學系統(tǒng)研發(fā)中，Qualifire 可以測量光學鏡片的各項參數，幫助研發(fā)人員優(yōu)化光學設計，提升產品的光學性能和用戶體驗。美國ZYGO激光干涉儀