在半導(dǎo)體芯片制造車間，工程師正用一臺(tái)儀器掃描晶圓表面，屏幕上的三維形貌圖以納米級(jí)精度還原出微觀結(jié)構(gòu)——這便是白光干涉儀，憑借其非接觸、高精度的測(cè)量能力，成為精密制造領(lǐng)域的“微觀顯微鏡”。

　　一、原理揭秘：短相干光解鎖納米級(jí)分辨率

　　白光干涉儀的核心在于利用白光寬光譜產(chǎn)生的短相干特性。白光由400-700nm連續(xù)光譜組成，相干長(zhǎng)度僅2-3微米，當(dāng)參考光與測(cè)量光的光程差接近零時(shí)，才會(huì)產(chǎn)生高對(duì)比度干涉條紋。通過(guò)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)參考鏡進(jìn)行垂直掃描，系統(tǒng)記錄每個(gè)像素點(diǎn)光強(qiáng)隨時(shí)間的變化曲線，利用包絡(luò)檢測(cè)或相位解調(diào)算法提取高度信息，最終實(shí)現(xiàn)0.1nm垂直分辨率與微米級(jí)橫向分辨率的三維形貌重建。

　　二、四大核心應(yīng)用場(chǎng)景

　　1.半導(dǎo)體制造：在光刻工藝后檢測(cè)光刻膠厚度與表面平整度，刻蝕工藝后測(cè)量刻蝕深度與粗糙度。某案例中，儀器可精準(zhǔn)捕捉10μm深溝槽底部0.2nmRMS的粗糙度變化，為芯片性能提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)。

　　2.精密光學(xué)加工：檢測(cè)非球面透鏡面形誤差，某直徑50mm拋物面鏡測(cè)量中，PV值精度優(yōu)于λ/20（λ=632.8nm），助力光學(xué)鏡頭成像質(zhì)量提升。

　　3.生物醫(yī)學(xué)工程：測(cè)量人工關(guān)節(jié)表面拋光質(zhì)量，某鈦合金髖關(guān)節(jié)球頭拋光后Ra值從50nm降至5nm；改良型系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)活體眼角膜8μm精度的三維重建，為眼科手術(shù)提供導(dǎo)航。

　　4.材料科學(xué)研究：分析納米材料表面形貌、薄膜涂層厚度均勻性，甚至化工材料液滴形貌隨濃度變化的動(dòng)態(tài)過(guò)程，為新材料研發(fā)提供微觀視角。

　　三、技術(shù)前沿：智能化與便攜化突破

　　當(dāng)前，白光干涉儀正朝著更智能、更高效的方向演進(jìn)。多波長(zhǎng)干涉技術(shù)將測(cè)量范圍擴(kuò)展至1mm，高速掃描系統(tǒng)基于MEMS振鏡實(shí)現(xiàn)100fps的掃描速度，AI輔助分析系統(tǒng)通過(guò)深度學(xué)習(xí)算法自動(dòng)識(shí)別缺陷類型。國(guó)內(nèi)中科院長(zhǎng)光所研發(fā)的在線式檢測(cè)系統(tǒng)已實(shí)現(xiàn)±2nm重復(fù)性精度，標(biāo)志著該技術(shù)國(guó)產(chǎn)化取得重要突破。

　　從半導(dǎo)體晶圓到人工關(guān)節(jié)，從納米材料到航空航天部件，白光干涉儀正以納米級(jí)的“火眼金睛”，持續(xù)推動(dòng)精密制造與微觀科學(xué)研究邁向新高度。